H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 41/24 (2006.01) H01L 41/083 (2006.01) H01L 41/187 (2006.01)
Patent
CA 2252392
A monolithic piezoelectric actuator is made of stoichiometric PZT ceramics (2) with low A-site doping and silver- and palladium-containing electrode layers (1). The piezoelectric actuator has improved mechanical resistance and good piezoelectric properties. The disclosed production process leads to optimum grain sizes and optimum piezoelectric properties, independently from B-site doping, and makes it possible to produce multilayer piezoelectric actuators which can be used at high temperatures of up to 150 °C.
L'invention concerne un élément piézo-électrique monolithique d'actionnement en une céramique stoechiométrique à base de titanate zirconate de plomb (2) à faible dopage des emplacements A et à couches d'électrodes (1) en argent et en palladium. Cet élément piézo-électrique possède une résistance mécanique améliorée et de bonnes propriétés piézo-électriques. Le procédé de fabrication décrit permet d'obtenir des grains de grosseur optimale et des prop riétés piézo-électriques optimales indépendamment d'un dopage des emplacements B de la céramique. Il permet d'obtenir des éléments piézo-électriques d'actionnement à couches multiples utilisables à de hautes températures qui peuvent s'élever jusqu'à 150 DEG C.
Cramer Dieter
Hellebrand Hans
Lubitz Karl
Aktiengesellschaft Siemens
Epcos Ag
Fetherstonhaugh & Co.
LandOfFree
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