Testing vias and contacts in integrated circuit fabrication

Details Testing vias and contacts in integrated circuit fabrication Testing vias and contacts in integrated circuit fabrication

H - Electricity

01

L

H01L 21/66 (2006.01) G01R 27/02 (2006.01) G01R 31/28 (2006.01)

Patent

CA 2455818

A test arrangement is designed to test whether one in a chain of vias or contacts has abnormally high resistance. The arrangement contains a plurality of via or contact chains (161-164) and a plurality of decoders (166-169). The chains are switchably connected to a resistance measurement device. Each decoder has a unique address such that it will generate a control signal when a predetermined address is address thereon. The control signal is used to close a switch, which connect one of the chains to the resistance measurement device. By sequentially applying different addresses to the decoders, the resistance of the chains can be individually measured.

L'invention concerne un système de vérification conçu pour vérifier si, dans une chaîne de trous de liaison ou de contacts, l'un des trous de liaison ou l'un des contacts présente une résistance anormalement élevée. Le système contient plusieurs chaînes (161-164) de contacts ou de trous de liaison et plusieurs décodeurs (166-169). Les chaînes sont connectées de manière commutable à un dispositif de mesure de résistance. Chaque décodeur est doté d'une adresse unique, de telle sorte qu'il pourra produire un signal de commande lorsque une adresse prédéterminée est sollicitée. Le signal de commande est utilisé pour fermer un commutateur qui relie l'une des chaînes au dispositif de mesure de résistance. L'application séquentielle de différentes adresses aux décodeurs permet de mesurer individuellement la résistance des chaînes.

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