H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 41/09 (2006.01)
Patent
CA 2556678
A positioner (2) for moving a sample platform (6) relative to a base (4) is described. The positioner is driven by a piezoelectric element (8) arranged to expand and contract along a drive axis, the piezoelectric element has an input end coupled to the base and an output end coupled to first (14) and second (16) output levers extending away from the drive axis of the piezoelectric element in opposing directions. The output levers each have an inner arm arranged to be acted on by the piezoelectric element as it expands and an outer arm to which the sample platform is mounted via platform supports (26, 28). The output levers are mounted such that the piezoelectric element acts on the inner arms of the output levers to cause the outer arms to move in a plane containing the drive axis. This motion of the output levers is communicated via the platform supports to the sample platform, thus moving it relative to the base along a direction parallel to the drive axis.
La présente invention se rapporte à un positionneur (2), qui est destiné à déplacer une plate-forme à échantillons (6) par rapport à une base (4). Le positionneur selon l'invention est entraîné par un élément piézo-électrique adapté pour se dilater et se contracter le long d'un axe d'entraînement, ledit élément piézo-électrique possédant une extrémité d'entrée couplée à la base et une extrémité de sortie couplée à des premier (14) et second (16) leviers de sortie, lesquels s'étendent à partir de l'axe d'entraînement de l'élément piézo-électrique dans des directions opposées. Chacun des leviers de sortie possède un bras interne, conçu pour être actionné par l'élément piézo-électrique lors de la dilatation de ce dernier, et un bras externe, sur lequel la plate-forme à échantillons est montée à l'aide de supports de plate-forme (26, 28). Les leviers de sortie sont montés de façon que l'élément piézo-électrique agisse sur les bras internes des leviers de sortie pour provoquer le déplacement des bras externes dans un plan contenant l'axe d'entraînement. Ce mouvement des leviers de sortie est communiqué à la plate-forme à échantillons par l'intermédiaire des supports de plate-forme, ce qui déplace ladite plate-forme par rapport à la base dans une direction parallèle à l'axe d'entraînement.
Dixon Michael John
Herbert Terence James
Gastle And Associates
Thorlabs Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1966239