G - Physics – 01 – L
Patent
G - Physics
01
L
G01L 13/00 (2006.01) G01D 3/028 (2006.01) G01D 3/036 (2006.01) G01L 1/10 (2006.01) G01L 1/18 (2006.01) G01L 9/00 (2006.01) G01L 19/00 (2006.01) G01L 19/02 (2006.01) G01L 19/04 (2006.01) G01P 1/00 (2006.01) G01P 15/097 (2006.01) G01P 15/10 (2006.01)
Patent
CA 2157909
A temperature and static pressure compensated differential pressure sensor includes a semiconductor substrate in which a flexible, pressure responsive diaphragm is formed. A pressure responsive resonant microbeam is fabricated at the diaphragm periphery. For temperature compensation, a secondary resonant microbeam sensor is fabricated on the substrate at a peripheral location beyond the point of substrate attachment to a pressure tube or other support. For static pressure compensation, another secondary resonant microbeam can be positioned remote from the diaphragm and at a location of maximum substrate response to static pressure. A further resonant microbeam can be mounted at die diaphragm center to augment the signal due to diaphragm deflections. Also disclosed is an accelerometer including a proof mass, a rigid rim surrounding the proof mass, and a series of narrow, flexible bridges supporting the proof mass relative to the rim. The bridges flex responsive to accelerations, thus to allow the proof mass to move relative to the rim. At least one of the bridges incorporates a resonant microbeam for measuring acceleration by virtue of die induced strain from flexure of its associated bridge. For temperature compensation, a secondary resonant microbeam is fabricated along the rim.
Un capteur de variation de pression à température et pression statique compensées comprend un substrat à semi-conducteur dans lequel est constitué une membrane flexible, sensible à la pression. Un microfaisceau résonnant sensible à la pression est fabriqué à la périphérie de la membrane. Pour la correction de la température, un capteur secondaire à microfaisceau résonnant est fabriqué sur le substrat, à un endroit phériphérique situé au-delà du point de fixation du substrat à un tube de pression ou autre support. Pour compenser la pression statique, on peut positionner un autre microfaisceau résonnant secondaire loin de la membrane, à un endroit où l'on obtient une réaction maximale du substrat à la pression statique. Pour augmenter le signal dû aux déflexions de la membrane, on peut monter un microfaisceau résonnant supplémentaire au centre de ladite membrane. L'invention concerne aussi un accéléromètre comprenant une masse étalon, un rebord rigide entourant la masse étalon, et une série de ponts flexibles et étroits qui maintiennent la position de la masse étalon par rapport au rebord. Les ponts fléchissent sous l'effet des accélérations, ce qui permet à la masse étalon de se mouvoir par rapport au rebord. Au moins l'un des ponts est doté d'un microfaisceau résonnant intégré qui mesure l'accélération imputable à la tension induite par la flexion du pont auquel il est associé. Pour compenser la température, un microfaisceau résonnant secondaire est fabriqué le long du rebord.
Burns David W.
Zook J. David
Honeywell Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-2005229