Rotation rate sensor

Details Rotation rate sensor Rotation rate sensor

G - Physics

01

C

G01C 19/5747 (2012.01)

Patent

CA 2690454

In order to avoid measurement errors which occur on the basis of moving individual structures (100, 200, 300, 400, 500, 600) in the case of rotation rate sensors when linear accelerations occur, a rotation rate sensor is proposed which comprises a substrate and two structures (100, 200, 300, 400, 500, 600) which move relative to the substrate on a design plane (x-y), with the two moving structures (100, 200, 300, 400, 500, 600) being coupled to form a coupled structure such that - the coupled structure has a first oscillation mode with antiphase deflections of the moving structures in a first direction (x) on the design plane (x-y) as excitation mode - the coupled structure has a second oscillation mode as a detection mode which is excited by Coriolis accelerations when the first oscillation mode is excited and on rotation about a sensitive axis (z) of the rotation rate sensor, which axis is at right angles to the design plane (x-y), and the coupled structure is designed such that, subject to optimal preconditions, it does not have any oscillation mode which can be excited by linear accelerations of the rotation rate sensor in a direction parallel to the second axis.

Pour éviter les erreurs de mesure qui se produisent sur les capteurs de vitesse de rotation à base de structures individuelles mobiles (100, 200, 300, 400, 500, 600) lors des accélérations linéaires, on propose un capteur de vitesse de rotation qui comprend un support et deux structures (100, 200, 300, 400, 500, 600) mobiles par rapport au support dans un plan de construction (x-y). Selon l'invention, les deux structures mobiles (100, 200, 300, 400, 500, 600) sont couplées entre elles pour former une structure accouplée de telle sorte que la structure accouplée présente un premier mode d'oscillation avec des déviations en opposition de phase des structures mobiles dans une première direction (x) dans le plan de construction (x-y) en tant que mode d'excitation, la structure accouplée présente un deuxième mode d'oscillation en tant que mode de détection qui est activé lorsque le premier mode d'oscillation est activé et par des accélérations de Coriolis lors d'une rotation autour d'un axe sensible (z) du capteur de vitesse de rotation perpendiculairement au plan de construction (x-y), la structure accouplée étant configurée de manière à ne possèder, dans des conditions idéales, aucun mode d'oscillation qui peut être activé par des accélérations linéaires du capteur de vitesse de rotation dans une direction parallèle au deuxième axe.

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