H - Electricity – 01 – J
Patent
H - Electricity
01
J
H01J 9/02 (2006.01) C09C 1/44 (2006.01) H01J 1/304 (2006.01)
Patent
CA 2612337
Provided is a method of manufacturing a carbon nano-tube (CNT) for a field emission device (FED) into which a nano-sized metal particle is added to thereby highly increase reliability of an electron emission source ("emitter"). The method of manufacturing a CNT emitter includes the steps of: (a) dispersing a CNT powder, an organic binder, a photosensitive material, a monomer, and a nano-sized metal particle in a solvent to thereby manufacture a CNT paste; (b) coating the CNT paste onto an electrode formed over a substrate; (c) exposing the CNT paste coated on the electrode to thereby perform fine-patterning; (d) plasticizing the finely patterned CNT paste; and (e) processing a surface of the CNT paste such that the surface of the plasticized CNT paste is activated. According to the above configuration, the CNT emitter can be finely patterned to several µm. Also, since a plurality of CNT emitter regions may be formed within a single pixel, uniformity of the electron emission can be improved. In addition, the nano-sized metal particle is added as a metal filler of the CNT paste, so that the metal can be melted at a low temperature where the CNT does not deteriorate. Furthermore, adhesion to a cathode electrode of the CNT is enhanced, so that the reliability of the CNT emitter can be improved.
Divugation d'une méthode de production d'un nanotube en carbone (NTC) destiné à un dispositif à émission de champ (DEC) dans lequel une particule métallique nanométrique est ajoutée pour grandement augmenter la fiabilité d'une source d'émission d'électrons (émetteur). La méthode de production d'un émetteur à NTC comprend les étapes suivantes : a) dispersion d'une poudre de NTC, d'un liant organique, d'une matière photosensible, d'un monomère et d'une particule métallique nanométrique dans un solvant afin d'obtenir une pâte de NTC; b) revêtement d'une électrode formée sur un substrat avec la pâte de NTC; c) exposition de la pâte de NTC déposée sur l'électrode afin de réaliser une structure fine; d) plastification de la pâte de NTC finement structurée; e) traitement d'une surface de la pâte de NTC de manière à ce que la surface de la pâte de Ntc plastifiée soit activée. Selon la configuration susmentionnée, l'émetteur à NTC peut être structuré finement à quelques µm. De plus, puisque plusieurs régions de l'émetteur à NTC peuvent être formées dans un seul pixel, l'uniformité de l'émission des électrons peut être améliorée. De plus, la particule métallique nanométrique est ajoutée en tant que matière métallique sur la pâte de NTC de manière à ce que le métal puisse être fondu à une faible température à laquelle les NTC ne se détériorent pas. Aussi, l'adhésion des NTC à une cathode est améliorée et la fiabilité de l'émetteur à NTC peut être améliorée.
Jeong Jin Woo
Kim Dae Jun
Song Yoon Ho
Electronics And Telecommunications Research Institute
Smart & Biggar
LandOfFree
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