Membrane-actuated charge controlled mirror

Details Membrane-actuated charge controlled mirror Membrane-actuated charge controlled mirror

G - Physics

02

B

G02B 26/00 (2006.01) G02B 26/08 (2006.01)

Patent

CA 2348606

An electrostatically actuated micromirror light modulator that exhibits increased deflection range, better charge efficiency and improved electrostatic stability. A thin insulating membrane (14) that is supported on a post array (16) decouples the electron beam (20) from the micromirror array (18) inside the vacuum cell (34). The membrane is just thick enough to stop the incident electrons from penetrating through to the mirrors but is thin enough to maintain resolution of the deposited charge pattern.

Cette invention se rapporte à un modulateur de lumière à micromiroir actionné par voie électrostatique, qui présente une distance de déflexion accrue, une plus grande efficacité de charge et une meilleure stabilité électrostatique. A cette fin, une fine membrane isolante (14), qui est placée sur des supports en forme de colonnes (16) découple le faisceau d'électrons (20) de l'alignement matriciel de micromiroirs (18) à l'intérieur de la cellule à vide (34). Cette membrane est juste assez épaisse pour faire barrière aux électrons incidents et les empêcher ainsi de pénétrer jusqu'aux miroirs, mais elle est assez fine pour préserver la résolution de la charge dans la configuration où elle s'est déposée.

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