G - Physics – 01 – L
Patent
G - Physics
01
L
G01L 11/02 (2006.01) G01L 27/00 (2006.01)
Patent
CA 2759790
The present invention provides a microscale pressure sensor that exhibits high sensitivity in a small form factor. The sensor is a bridged device in which a photonic crystal waveguide, surrounded by a photonic crystal slab, is suspended over a dielectric substrate. Under applied pressure, the photonic crystal waveguide is deflected toward the substrate, causing a decrease in optical transmission across the waveguide due to the coupling of the evanescent field of the guided mode to the dielectric substrate. In a preferred embodiment, the waveguide is coupled to a photonic crystal microcavity, which increases evanescent coupling.
La présente invention concerne un capteur de pression à l'échelle microscopique, présentant une sensibilité élevée et un petit facteur de forme. Le capteur est un dispositif ponté, dans lequel un guide d'onde à cristal photonique, entouré d'une plaque en cristal photonique, est suspendu au-dessus d'un substrat diélectrique. En cas d'application d'une pression, le guide d'onde à cristal photonique est dévié vers le substrat, provoquant une baisse de transmission optique à travers le guide d'onde du fait du couplage du champ évanescent du mode guidé au substrat diélectrique. Dans un mode de réalisation préféré, le guide d'onde est couplé à une microcavité en cristal photonique, ce qui augmente le couplage évanescent.
Bakhtazad Aref
Huo Xuan
Hutter Jeff
Sabarinathan Jayshri
Hill & Schumacher
The University Of Western Ontario
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-2072430