System and method for adjusting the spherical aberration of...

G - Physics – 02 – B

Patent

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G02B 13/18 (2006.01)

Patent

CA 2676158

A spherical aberration adjustment system is disclosed, which includes a plurality of objective lenses, where at least one of the plurality of objective lenses has a spherical aberration collar. The plurality of objective lenses are mounted onto an objective holder, where the objective holder is configured to place the at least one of the plurality of objective lenses in an imaging position. A driving mechanism is coupled by a mechanical link to the at least one of the plurality of objective lenses, where the mechanical link is configured to transmit motion from the driving mechanism to the spherical aberration collar. A control system is configured to manipulate the driving mechanism to move the spherical aberration collar of the at least one of the plurality of objective lenses in the imaging position to a specific spherical aberration adjustment setting.

L'invention concerne un système d'ajustement d'aberration sphérique, qui comprend une pluralité de lentilles d'objectifs, au moins une de la pluralité de lentilles d'objectifs ayant un collier d'aberration sphérique. La pluralité de lentilles d'objectifs sont montées sur un support d'objectif, le support d'objectif étant configuré pour placer la au moins une de la pluralité de lentilles d'objectifs dans une position d'imagerie. Un mécanisme d'entraînement est couplé par une liaison mécanique à la au moins une de la pluralité de lentilles d'objectifs, la liaison mécanique étant configurée pour transmettre un mouvement du mécanisme d'entraînement au collier d'aberration sphérique. Un système de contrôle est configuré pour manipuler le mécanisme d'entraînement afin de déplacer le collier d'aberration sphérique de la au moins une de la pluralité de lentilles d'objectifs dans la position d'imagerie vers un réglage d'ajustement spécifique d'aberration sphérique.

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