Method and device for continuous cold plasma deposition of...

C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C

Patent

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C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/24 (2006.01) C23C 14/32 (2006.01) H01J 37/34 (2006.01)

Patent

CA 2420243

The invention concerns a method and a device for depositing a metal coating on a substrate (1) which consists in a cold plasma deposition inside a heated confinement chamber (7) so as to avoid the formation of a metal deposit at its surface, said chamber (7) having an inlet orifice (21) and an outlet orifice (22) through which the substrate to be coated enters and leaves said chamber, a metal vapour source, forming an electrode, being provided in said chamber enabling the formation of plasma (6) therein, a counter-electrode being formed by the substrate (1) or by a separate electrically conducting element. The invention is characterised in that it consists in introducing the metal, with which a metal coating is to be formed on the substrate (1), in molten state in a retention tank (8) communicating with the confinement chamber (7) and in maintaining the molten metal in said tank (8) at a substantially constant level while the metal coating is being formed.

L'invention est relative à un procédé et un dispositif pour le dépôt d'une couche métallique sur un substrat (1) suivant lequel on réalise le dépôt par plasma froid à l'intérieur d'une enceinte de confinement (7) chauffée de manière à éviter la formation d'un dépôt métallique à sa surface, cette enceinte (7) présentant une ouverture d'entrée (21) et une ouverture de sortie (22) par lesquelles le substrat (1) à revêtir entre et sort de celle-ci, une source de vapeur métallique, constituant une électrode, étant prévue dans cette enceinte permettant la formation du plasma (6) dans cette dernière, une contre-électrode étant formée par le substrat (1) ou par un élément conducteur d'électricité séparé. L'invention est caractérisé en ce que l'on introduit le métal, dont il y a lieu de former la couche métallique sur le substrat (1), à l'état liquide dans un bac de rétention (8) communiquant avec l'enceinte de confinement (7) et à ce que l'on maintient le métal liquide dans ce bac (8) à un niveau sensiblement constant durant la formation de cette couche métallique.

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