G - Physics – 02 – F
Patent
G - Physics
02
F
G02F 1/035 (2006.01) G02F 1/21 (2006.01) G02F 1/225 (2006.01)
Patent
CA 2369673
An optical waveguide is formed on a substrate made of a material with an electro-optic effect. Then, an intermediate layer is fabricated, on the main surface of the substrate, by a dielectric material selected from the group consisting of AOx, B2Oy, COz (A:divalent element, B:trivalent element, C:quadrivalent element, 0< x< 1, 0< y< 3, 0< z< 2, O:oxygen). Then, a metal-cladding type optical polarizer is fabricated on the intermediate layer and the optical waveguide. Moreover, an optical waveguide and a buffer layer are formed at and on a substrate with an electro-optic effect. Then, the buffer layer is partially removed by non-reactive dry-etching to form a first opening. Subsequently, a metal-cladding type optical polarizer is fabricated inside the first opening, and a signal electrode and a ground electrode, constituting a modulation electrode, are fabricated on the buffer layer.
La présente invention concerne un guide d'ondes optiques sur substrat en matériau électro-optique dont la surface est en majorité recouverte d'une couche intermédiaire. Un polariseur monté sur métal vient sur la couche intermédiaire, au-dessus du guide d'ondes optiques. Une électrode de signal et une électrode de masse sont formées sur le substrat ou une couche tampon. La couche intermédiaire st un diélectrique se composant de AO>x<, B>2<O>y< et CO>2<, "X" étant un élément divalent, "Y" un élément trivalent, "Z" un élément quadrivalent, O l'oxygène, avec 0>x>1, 0>y>3 et 0>z>2. Selon un autre mode de réalisation, l'invention concerne un guide d'ondes optiques et une couche tampon formés sur un substrat en matériau électro-optique. La couche tampon est en partie enlevée par gravure au plasma non-réactive de façon à former une première ouverture. Un polariseur monté sur métal est formé dans la première ouverture, une électrode de signal servant d'électrode modulatrice et une électrode de masse étant formées sur la couche tampon.
Fujino Tetsuya
Miyama Yasuyuki
Nagata Hirotoshi
Sakamoto Toshihiro
Smart & Biggar
Sumitomo Osaka Cement Co. Ltd.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1790529