C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
23
C
C23C 16/44 (2006.01) C04B 41/50 (2006.01) C04B 41/84 (2006.01) C23C 16/04 (2006.01) C23C 16/32 (2006.01) C23C 16/452 (2006.01)
Patent
CA 2178805
A reaction gas containing methyltrichlorosilane (MTS) and hydrogen is injected into the infiltration chamber (30) in which the substrate is placed andwhere predetermined infiltration temperature and pressure conditions obtain. Thegas entering the infiltration chamber is preheated (by plates 46) so as to bring it up to temperature before coming into contact with the substrate. The residual gas containing the remainder of the reaction gas together with gaseous reaction products is extracted from the chamber. Infiltration is performed at a temperature lying in the range 960°C to 1050°C, and preferably in the range 1000°C to 1030°C, under a total pressure of not more than 15 kPa, and preferably equal to 7 kPa to12 kPa, and the concentration of silicon-containing species in the residual gas is lowered at the outlet from the infiltration chamber, e.g. by injecting an inert gas (via 70).
Une phase gazeuse réactionnelle comprenant du méthyltrichlorosilane (MTS) et de l'hydrogène et introduite dans la chambre d'infiltration (30) dans laquelle est placé le substrat et où règnent des conditions de température et de pression d'infiltration prédéterminées. La phase gazeuse entrant dans la chambre d'infiltration est préchauffée (par les plateaux 46) afin de la porter en température avant contact avec le substrat. La phase gazeuse résiduelle comprenant le reliquat de phase gazeuse réactionnelle et des produits de réaction gazeux est extraite hors de la chambre. L'infiltration est réalisée à une température comprise entre 960 ~C et 1050 ~C, de préférence entre 1000 ~C et 1030 ~C sous une pression totale au plus égale à 15 kPa, de préférence entre 7 kPa et 12 kPa, et la concentration de la phase gazeuse résiduelle en espèces siliciées est abaissée en sortie de la chambre d'infiltration, par exemple par injection de gaz neutre (via 70).
Charvet Jean-Luc
Delperier Bernard
Minet Jacky
Rey Jacques
Robin-Brosse Christian
Sim & Mcburney
Societe Europeenne de Propulsion
Societe Nationale D'etude Et de Construction de Moteurs D'aviati
LandOfFree
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