A normally closed in-channel micro check valve

Details A normally closed in-channel micro check valve A normally closed in-channel micro check valve

F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons

16

K

F16K 15/14 (2006.01) F04B 43/04 (2006.01) F15C 5/00 (2006.01)

Patent

CA 2391842

An in-channel check valve assembly (116) is disclosed comprising, an in- channel check valve (100), connected between the front (110) and rear (114) of a channel (102) attached to a silicon substrate (106). The channel may have a width between 10 microns and 400 microns, and the check valve may have a width between about 50 microns and 500 microns. The check valve may be generally circular in shape. The check valve may also be normally closed. that is, sealed in the absence of a pressure differential between the front and the rear portions of the channel. The check valve may include a sealing cap (122) that contacts a valve seat (120) to seal the valve. The valve seat may include a metal layer (130) to separate the contacting surfaces of the valve seat and the scaling cap in the closed position.

Dans un mode de réalisation, la présente invention concerne un ensemble clapet de non-retour (116) qui peut comprendre un clapet de non-retour placé dans le canal (100) relié aux parties avant (110) et arrière (114) d'un canal (102) fixé sur un substrat de silicium (106). Le canal peut avoir une largeur comprise entre environ 10 mu m et environ 400 mu m, et le clapet de non-retour peut avoir une largeur comprise entre environ 50 mu m et environ 500 mu m. Le clapet de non-retour peut être de forme généralement circulaire. Le clapet de non-retour peut également se trouver normalement en position fermée, c'est-à-dire qu'il est hermétiquement fermé en l'absence d'une différence de pression entre la partie arrière et la partie avant du canal. Le clapet de non-retour peut comprendre une calotte d'étanchéité (122) qui entre en contact avec le siège (120) du clapet pour rendre le clapet étanche. Le siège du clapet peut comprendre une couche métallique (130) destinée à séparer les surfaces de contact du siège de clapet et de la calotte d'étanchéité en position fermée.

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