C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
23
C
C23C 16/44 (2006.01) C23C 16/448 (2006.01)
Patent
CA 2189559
Gas delivery apparatuses and methods utilize a housing (10) containing three thermal zones (12, 14, 16). Reactant gases (6), vaporized within the first thermal zone (12), travel into successive thermal zones (14, 16), and are heated at a higher temperature to prevent condensation within the line (22). In-line components (24, 28, 30, 32, 42) are mounted to controlled heater plates (23, 62, 82) to heat the in-line components (24, 28, 30, 32, 42) at the temperatures associated with the respective thermal zones. The third thermal zone (16) is heated at a substantially higher temperature than the other thermal zones to prevent adducts within the gas line (22). In one embodiment, the gas line (22) extends into the chamber (8) through a heater block (94) which uniformly heats the line (22) at a temperature higher than the thermal zones (12, 14, 16). In an alternative embodiment, a gas passage (116) is integrally formed within the sidewall (112) and cover (114) of the chamber, which allows the chamber cover (114) to be lifted without mechanically disconnecting a portion of the gas line (22).
Des procédés et des appareils d'acheminement de gaz utilisent une enceinte (10) comportant trois zones thermiques (12, 14, 16). Des gaz réactants (6), vaporisés dans la première zone thermique (12), circulent dans les zones thermiques successives (14, 16) et sont chauffés à une température élevée afin de prévenir toute condensation dans la conduite (22). Des composants en ligne (24, 28, 30, 32, 42) sont montés sur des plaques chauffantes régulées (23, 62, 82) qui chauffent ceux-ci (24, 28, 30, 32, 43) à des températures associées aux zones thermiques respectives. La troisième zone thermique (16) est chauffée à une température sensiblement supérieure à celle des autres zones thermiques afin de prévenir la formation de produits d'addition dans la conduite (22) de gaz. Selon un mode de réalisation, la conduite (22) de gaz s'étend jusque dans la chambre (8) et traverse un bloc chauffant (94) qui chauffe uniformément la conduite (22) à une température supérieure à celle des zones thermiques (12, 14, 16). Selon un autre mode de réalisation, un passage (116) destiné au gaz est formé solidairement dans la paroi latérale (112) et le couvercle (114) de la chambre, ce qui permet de soulever celui-ci (114) sans démontage mécanique d'une partie de la conduite (22) de gaz.
Hillman Joseph T.
Ramsey W. Chuck
Gowling Lafleur Henderson Llp
Tokyo Electron Limited
LandOfFree
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