G - Physics – 01 – L
Patent
G - Physics
01
L
G01L 19/04 (2006.01) G01D 3/028 (2006.01) G05D 7/06 (2006.01) G01F 1/50 (2006.01)
Patent
CA 2442166
22 A pressure sensor, a pressure control apparatus, and a flow rate control apparatus are provided in which the temperature drift of the pressure sensor is automatically corrected and pressure can be accurately detected in spite of changes in temperature. A pressure-type flow rate control apparatus, in which an apparatus for correcting temperature drift according to the present invention is installed, has an upstream side pressure sensor 10 provided between an orifice 4 and a control valve 22 for detecting an upstream side pressure P1, and controls the flow rate of a fluid passing through the orifice 4 by means of a regulating control valve 22, while calculating the flow rate of the fluid passing through the orifice 4 from the upstream side pressure P1, wherein the apparatus for correcting temperature drift comprises a temperature sensor 14 for measuring the temperature of the fluid, a memory means 64 for storing a relation between the fluid temperature T and an output drift of the upstream side pressure sensor 10, and a temperature drift correcting means which calculates the amount of the output drift of the upstream side pressure sensor 10 from data in the memory means 64 when the temperature T of the fluid changes, and offsets the output drift of the upstream side pressure sensor 10 with the calculated amount of the output drift, thereby correcting the temperature drift. By means of this arrangement, the temperature drift of the pressure sensor is automatically corrected, which makes it possible to control accurately the flow rate.
La présente invention concerne un capteur de pression, un régulateur de pression et un régulateur de débit dans lequel la pression peut être détectée précisément quelles que soient les variations de la température, au moyen d'une correction automatique de la dérive de température du capteur de pression. Le correcteur de dérive de la température d'un régulateur de débit du type commandé par la pression comprend un capteur de pression côté amont (10) qui est intercalé entre un orifice (4) et un robinet de commande (22), et détecte la pression du côté amont P<sb>1</sb>. Le régulateur de débit du type commandé par la pression qui est conçu pour réguler le débit au niveau de l'orifice (4) par ouverture/fermeture du robinet de commande (22) tout en autorisant le débit au niveau de l'orifice (4) en fonction de la pression côté amont P<sb>1</sb>, comprend un capteur de température (14) conçu pour mesurer la température du fluide, un moyen de mémorisation (64) conçu pour stocker la relation entre la température du fluide T et la dérive de sortie du capteur de pression côté amont (10) et un moyen permettant de corriger la dérive de température par calcul de la dérive de sortie du capteur de pression côté amont (10) à partir des données du moyen de mémorisation (64) lorsque la température du fluide T varie et par suppression de la dérive de sortie ainsi calculée du capteur de pression côté amont (10). Conformément à ce dispositif, la dérive de température du capteur de pression est corrigée automatiquement et une régulation précise du débit peut être obtenue.
Dohi Ryousuke
Ikeda Nobukazu
Matsumoto Atsushi
Nakamura Osamu
Nishino Kouji
Fujikin Incorporated
Ohmi Tadahiro
Riches Mckenzie & Herbert Llp
Tokyo Electron Ltd.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1439734