Astigmatism measurement apparatus and method

G - Physics – 06 – K

Patent

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G06K 9/60 (2006.01) G01M 11/02 (2006.01)

Patent

CA 2234960

A computer (30) receives image data from a star-shaped optical target (18) in the object plane and calculates angle-dependent boundary sharpness. The horizontal, x-direction, amplitude derivative and the vertical, y-direction, amplitude derivative are computed over a portion of each star pattern image from a Z panning sequence (83). A microscope slide stage (16), carrying the target (18), is moved vertically from a level just below where the target is in focus to a level just above where the target is in focus. For each small increment of vertical motion, Z panning, an image of the star pattern is captured for analysis (85, 86, 89). Computations are performed on the differentiated images to search for evidence of elongation of the point spread function and variation with stage Z position of the angle of long axis of such an out-of-round point spread function (134). The presence of a distorted point spread function that varies along the optical axis indicates astigmatism (136).

Un ordinateur (30) reçoit les données images depuis une cible optique en forme d'étoile (18) dans le plan de l'objet et calcule la netteté des contours en fonction de l'angle. La dérivée d'amplitude horizontale (axe x) et la dérivée d'amplitude verticale (axe y) sont déterminées sur une partie de chaque image à configuration en étoile résultant d'une séquence panoramique Z (83). Une lame porte objet (16) qui porte la cible (18) est déplacée verticalement depuis un niveau situé juste au-dessous de celui où la cible est nette jusqu'à un niveau situé immédiatement au-dessus de ce niveau de netteté. Pour chaque petite augmentation du mouvement vertical, en panoramique Z, on saisit une image de la configuration en étoile aux fins d'analyse (85, 86, 89). Les calculs sont effectués sur des images différentiées dans le but de déceler la présence d'un allongement de la réponse impulsionnelle et une variation, par rapport à la position Z du porte-objet, de l'angle d'axe long de cette réponse impulsionnelle hors révolution (134). La présence d'une réponse impulsionnelle entâchée de distorsion qui varie le long de l'axe optique met en évidence l'astigmatisme (136).

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