H - Electricity – 05 – H
Patent
H - Electricity
05
H
H05H 1/10 (2006.01) H05H 1/24 (2006.01) H05H 1/40 (2006.01)
Patent
CA 2581409
An apparatus for generating plasma includes a cathode having an evaporable surface configured to emit a material comprising plasma and macroparticles; oppositely directed output apertures configured to direct the plasma; a filter configured to transmit at least some of the plasma to the output apertures while preventing transmission of at least some of the macroparticles, the filter comprising at least one deflection electrode disposed generally parallel to and facing at least a portion of the evaporable surface; a first element for generating a first magnetic field component having a first polarity between the cathode and the at least one deflection electrode; and a second element for generating a second magnetic field component having a second polarity at the evaporable surface of the cathode that is opposite that of the first polarity such that a low-field region is created between the evaporable surface and the at least one deflection electrode.
Appareil servant à la génération de plasma qui comprend une cathode comportant une surface évaporable configurée pour émettre une matière contenant du plasma et des macroparticules; des ouvertures de sortie orientées dans le sens opposé qui sont configurées pour diriger le plasma; un filtre conçu pour transmettre au moins une quantité du plasma vers les ouvertures de sortie tout en empêchant la transmission d'au moins certaines des macroparticules, le filtre en question comprenant au moins une électrode de déflexion généralement disposée parallèlement à au moins une portion de la surface évaporable et face à celle-ci; un premier élément pour la génération d'un premier composant de champ magnétique présentant une première polarité entre la cathode et au moins une électrode de déflexion; et un deuxième élément pour générer un deuxième composant de champ magnétique ayant une deuxième polarité à la surface évaporable de la cathode qui est opposée à la première polarité de manière qu'une région de champ faible soit créée entre le champ évaporable et au moins une électrode de déflexion évaporable.
Heenan Blaikie Llp
Vapor Technologies Inc.
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