C - Chemistry – Metallurgy – 03 – C
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
03
C
C03C 17/34 (2006.01) C03C 17/00 (2006.01) C03C 17/23 (2006.01) C04B 35/453 (2006.01) C23C 14/08 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01)
Patent
CA 2610979
A transparent conductive oxide (TCO) based film is formed on a substrate. The film may be formed by sputter-depositing, so as to include both a primary dopant (e.g., Al) and a co-dopant (e.g., Ag). The benefit of using the co- dopant in depositing the TCO inclusive film may be two-fold: (a) it may prevent or reduce self- compensation of the primary dopant by a more proper positioning of the Fermi level, and/or (b) it may promote declustering of the primary dopant, thereby freeing up space in the metal sublattice and permitting more primary dopant to create electrically active centers so as to improve conductivity of the film. Accordingly, the use of the co-dopant permits the primary dopant to be more effective in enhancing conductivity of the TCO inclusive film, without significantly sacrificing visible transmission characteristics. An example TCO in certain embodiments is ZnA10x:Ag.
L'invention concerne une couche d'oxyde transparente conductrice (TCO), formée sur un substrat. La couche peut être réalisée par pulvérisation cathodique, de façon à comprendre à la fois un dopant primaire (p. ex. Al) et un co-dopant (p. ex. Ag). L'avantage d'utiliser le co-dopant pour le dépôt de la couche TCO intégrée peut être de deux ordres: a) empêcher ou réduire l'auto-compensation du dopant primaire par un réglage plus approprié du niveau de Fermi; et/ou b) favoriser la désagglutination du dopant primaire, ce qui libère de l'espace dans le sous-réseau métallique et permet à une quantité plus grande du dopant primaire de créer des centres électriquement actifs pouvant améliorer la conductivité de la couche. Ainsi, l'utilisation du co-dopant permet au dopant primaire d'améliorer plus efficacement la conductivité de la couche TCO intégrée, sans beaucoup sacrifier aux caractéristiques de transmission visibles. Dans certains modes de réalisation, une couche TCO exemplaire est ZnA10x:Ag.
Krasnov Alexey
Lu Yiwei
Guardian Industries Corp.
Macpherson Leslie & Tyerman Llp
LandOfFree
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