Combination horizontal and vertical thermal actuator

Details Combination horizontal and vertical thermal actuator Combination horizontal and vertical thermal actuator

H - Electricity

01

H

H01H 37/22 (2006.01) B81B 5/00 (2006.01) H01H 1/00 (2006.01) H01H 61/01 (2006.01)

Patent

CA 2422040

A micrometer sized, single-stage, horizontal and vertical thermal actuator capable of repeatable and rapid movement of a micrometer-sized optical device off the surface of a substrate. The horizontal and vertical thermal actuator is constructed on a surface of a substrate. At least one hot arm has a first end anchored to the surface and a free end located above the surface. A cold arm has a first end anchored to the surface and a free end. The cold arm is located above and laterally offset from the hot arm relative to the surface. The cold arm is adapted to provide controlled bending near the first end thereof. A member mechanically and electrically couples the free ends of the hot and cold arms such that the actuator exhibits horizontal and vertical displacement when current is applied to at least the hot arm.

L'invention concerne un actionneur thermique horizontal et vertical, à l'échelle micrométrique et à un seul étage, capable de déplacer de manière répétée et rapide un dispositif optique à l'échelle micrométrique, afin de l'éloigner de la surface d'un substrat. Cet actionneur thermique horizontal et vertical est construit sur une surface d'un substrat. Au moins un bras chaud comprend une première extrémité ancrée sur la surface et une extrémité libre située au-dessus de ladite surface. Un bras froid comprend une première extrémité ancrée sur la surface et une extrémité libre, il est situé au-dessus du bras chaud et décalé latéralement de celui-ci, par rapport à la surface du substrat, et il est conçu pour fléchir de manière régulée près de sa première extrémité. Un élément couple mécaniquement et électriquement l'extrémité libre du bras chaud et celle du bras froid, de façon que l'actionneur se déplace horizontalement et verticalement lors de l'application de courant au moins sur le bras chaud.

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