C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
23
C
C23C 14/56 (2006.01) C23C 14/35 (2006.01) H01J 37/32 (2006.01)
Patent
CA 2609075
The present invention provides a system and method for removing contaminating moisture from a deposition chamber prior to use. Dry air, preferably hot dry air, is blown into the deposition chamber where it absorbs and removes moisture. This is done by connecting a desiccation system including a blower and a dryer to the deposition chamber. The deposition chamber is also provided with a vacuum source; this may be connected to the deposition chamber using the same line as that used for the desiccation source, or may be connected through a separate line. The dry air may re-circulate through the chamber during this flushing method, or the dry air may flow through the deposition chamber continuously. A heat exchanger may also be provided to efficiently reuse hot air used to recharge the desiccation system. The desiccation system and method are particularly suited for decontaminating a magnetron sputtering deposition chamber.
La présente invention concerne un système et procédé d'élimination de l'humidité contaminante d'une chambre de dépôt avant utilisation. En l'occurrence, on souffle de l'air, de préférence chaud, dans la chambre dans laquelle cet air absorbe et élimine l'humidité. A cet effet, on relie à la chambre de dépôt un système d'assèchement comprenant une soufflante et un séchoir. La chambre de dépôt est également pourvue d'une source d'aspiration pouvant être reliée à la chambre par la même ligne que celle utilisée pour la source d'assèchement, ou par une ligne séparée. L'air sec peut recirculer dans la chambre pendant cette méthode de chasse d'air, ou l'air sec peut couler au travers de la chambre de dépôt en continu. Un échangeur thermique peut également être installé pour permettre de réutiliser de façon efficace l'air chaud utilisé pour recharger le système d'assèchement. Le système et le procédé d'assèchement conviennent particulièrement pur la décontamination d'une chambre de dépôt à électropulvérisation par magnétron.
Borden Ladner Gervais Llp
Cardinal Cg Company
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-2009035