H - Electricity – 01 – J
Patent
H - Electricity
01
J
H01J 37/30 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01) H01J 37/302 (2006.01) H01J 37/317 (2006.01) H01L 21/70 (2006.01)
Patent
CA 2139637
A raster scan lithography system is modified so that the duration of illumination (dose modulation) for particular pixels is varied to lie between the full on and full off normally used. For instance, three levels of pixel intensity are provided, 100 %, 70 % and 30 % (in addition to off which is 0 %). The 30 % and 70 % pixels are used along the edge of a feature so as to locate the edge (52, 54) when written in between the lines of the cartesian raster scan grid. Thus the edges of the feature ace moved off the grid, without the need for multiple passes. This pixel dose modulation uses three preset delay lines (30) determining dwell times for each pixel on a pixel-by-pixel basis, as defined by a two (or more) bit deep memory file associated with the pattern to be written. Additionally, the pixel center locations are directly moved off the grid by deflecting the beam as it scans certain pixels located along feature edges. The amount of deflection is controllably variable to achieve various edge locations. This deflection is used by itself or in combination with die modulation, and is implemented by an electrostatic deflector in the beam lens for an E-beam system.
Un système lithographique utilisant un balayage ligne par ligne est modifié pour que la durée de l'illumination (modulation de la dose) pour chaque pixel particulier soit modulée entre les valeurs correspondant à l'éclairage plein normalement utilisé et à l'éclairage coupé. Par exemple, trois niveaux d'intensité des pixels sont prévus, à 100 %, 70 % et 30 % (en plus de l'éclairage coupé, c'est-à-dire 0 %). Les pixels à 30 % et à 70 % sont utilisés le long du bord d'un motif pour tracer le bord (52, 54) lorsque celui-ci est entre les lignes du réseau cartésien de balayage. Ainsi les bords du motif sont réalisés hors du réseau sans qu'il y ait besoin d'effectuer plusieurs passages. Cette modulation de la dose des pixels utilise trois lignes de retard préréglées (30) déterminant la durée d'exposition pour chaque pixel l'un après l'autre, en fonction de l'information contenue dans un fichier mémoire ayant une profondeur de deux bits ou davantage associée au motif à écrire. En plus, les emplacements centraux des pixels sont déplacés directement du réseau en déviant le faisceau lorsqu'il balaie certains pixels disposés le long des bords des motifs. On peut modifier d'une manière contrôlée l'importance de la déviation, pour réaliser différents emplacements constituant des bords. Cette déviation est utilisée elle-même ou en combinaison avec la modulation de la dose et elle est assurée par un dispositif de déviation électrostatique dans la lentille du faisceau pour un système à faisceau électronique.
Abboud Frank E.
Berglund C. Neil
Muray Andrew J.
Etec Systems Inc.
Osler Hoskin & Harcourt Llp
LandOfFree
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