Electrostatically operated, micromechanical capacitor

Details Electrostatically operated, micromechanical capacitor Electrostatically operated, micromechanical capacitor

H - Electricity

01

G

H01G 4/00 (2006.01) H01G 5/04 (2006.01) H01G 5/06 (2006.01)

Patent

CA 2219945

An electrostatically controlled, micromachined micromechanical capacitor having an adjustable, extensive tuning range. One configuration of the microcapacitor consists of a set of rotatable plates (14) adjacent to each other. Another configuration consists of a set of various sized beams or plates adjacent to a common plate or plates. The pairs of plates are rotated or linearly moved relative to each other to provide an adjustable capacitance. The rotation or movement of the plates is caused electrostatically by an application of a DC or low frequency voltage to the respective plates. The signals that are processed by these micromechanical capacitors are typically in the megahertz range and higher. The process for micromachining the micromechanical capacitor is similar to the process utilized in integrated circuit fabrication.

L'invention concerne un condensateur électrostatique micromécanique micro-usiné à grande plage d'accord réglable. Dans une configuration, le microcondensateur est constitué d'une série de plaques rotatives (14) adjacentes les unes par rapport aux autres. Dans une autre configuration, il est constitué d'une série de lames ou de plaques de différentes tailles adjacentes à une ou à plusieurs plaques communes. La capacité réglable est obtenue par rotation ou déplacement linéaire des paires de plaques entre elles. La rotation ou le mouvement des plaques résulte d'un phénomène électrostatique suite à l'application d'un courant continu ou d'une tension à basse fréquence sur les différentes plaques. En règle générale, ce type de condensateur micromécanique traite des signaux de l'ordre du mégahertz et plus. Le processus de fabrication d'un tel condensateur micromécanique par technique de micromachine est analogue au processus de la fabrication des circuits intégrés.

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