G - Physics – 11 – B
Patent
G - Physics
11
B
26/124
G11B 5/23 (2006.01) G11B 5/187 (2006.01) G11B 5/31 (2006.01)
Patent
CA 1317097
ABREGE DESCRIPTIF PROCEDE DE DETECTION DE FIN DE POLISSAGE D'UNE TETE MAGNETIQUE COUCHES MINCES L'invention concerne un procédé de détection de fin de polissage d'au moins une tête magnétique couches minces comprenant, au stade de la mise en oeuvre du procédé, une face active constituée de deux pôles magnétiques (1, 2) séparés par un entrefer (4). Le procédé comprend les étapes suivantes: - dépôt d'une couche conductrice (7) sur l'ensemble de la face active (3), - gravure de la face active recouverte de ladite couche conductrice, - dépôt d'une couche de matériau diélectrique (8) sur la face active gravée, - polissage de la face active à partir de la face libre de la couche de matériau diélectrique (8) jusqu'à élimination complète de la partie de la couche conductrice (7) située au-dessus de l'entrefer (4), cette élimination étant détectée par la brusque variation de résistivité entre les deux pôles magnétiques (1,2). FIGURE 5.
581346
Beguin Jean Y.
Jacobelli Alain
Magna Henriette
Penot Maurice
Rolland Jean L.
Beguin Jean Y.
Compagnie Europeenne de Composants Electroniques - Lcc
Goudreau Gage Dubuc
Jacobelli Alain
Magna Henriette
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