F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons – 24 – F
Patent
F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons
24
F
F24F 3/14 (2006.01) F24F 5/00 (2006.01) G01N 17/00 (2006.01)
Patent
CA 2753281
Improved environmental control system for im-proved nanolithography, imaging, detecting, and fabricating. An article comprising: at least one environmental chamber; at least one conditioning chamber adapted to be in gaseous communica-tion with the environmental chamber, wherein the conditioning chamber comprises at least one gas transport device such as a fan, optionally at least one temperature probe, and at least one heating--cooling device such as a thermoelectric device which in operation provides a cold side and a hot side, at least one water vapor source, and at least one temperature sensor, at least one humidity sensor, wherein the fan, the thermoelectric device, the water vapor source, the temperature sensor, and the humidity sensor are adapt-ed for a temperature controlled and humidity controlled gaseous flow. Two fans can be used, wherein the fans can transport air in the same direction or in opposite directions.
La présente invention porte sur un système de régulation des conditions ambiantes pour l'amélioration de la nanolithographie, de l'imagerie, de la détection et de la fabrication. Un article comprend : au moins une chambre environnementale; au moins une chambre de conditionnement conçue pour être en communication gazeuse avec la chambre environnementale, la chambre de conditionnement comprenant au moins un dispositif de transport de gaz, tel qu'un ventilateur, facultativement au moins une sonde de température et au moins un dispositif de chauffage/refroidissement, tel qu'un dispositif thermoélectrique qui, en fonctionnement, fournit un côté froid et un côté chaud, au moins une source de vapeur d'eau et au moins un capteur de température, au moins un capteur d'humidité, le ventilateur, le dispositif thermoélectrique, la source de vapeur d'eau, le capteur de température et le capteur d'humidité étant conçus pour une circulation gazeuse à humidité et température régulées. Deux ventilateurs peuvent être utilisés, les ventilateurs pouvant faire circuler l'air dans la même direction ou dans des directions opposées.
Bussan John E.
Moskal John
Nelson Michael R.
Rendlen Jeffrey R.
Vakil Javad M.
Bereskin & Parr Llp/s.e.n.c.r.l.,s.r.l.
Nanoink Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1831092