Fabrication of zinc oxide films on non-planar substrates and...

C - Chemistry – Metallurgy – 03 – C

Patent

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Details

32/83, 117/85

C03C 25/22 (2006.01) C03C 25/10 (2006.01)

Patent

CA 2288273

A method of manufacture of a substantially continuous circumferential coating on a non-planar substrate, is disclosed the method comprising the steps of: utilising a substantially non directional deposition technique and a substantially static substrate deposition geometry to deposit the coating. Coatings can be deposited which include piezo-electric modulation characteristics or electro-optic modulation characteristics. Ideally the coating has semiconducting properties. The type of coating ideally includes Zinc-Oxide coatings. The non directional deposition technique can comprise chemical vapour deposition via single source chemical vapour deposition. Suitable substrates include optical fibres which are clamped onto a substantially planar heating surface during the deposition. The optical fibre can be clamped at a portion of the length of the fibre which is located at one end of a heating surface during the deposition such that movement of a free end of the optical fibre is limited to movement substantially along the axis of the optical fibre.

L'invention concerne un procédé qui permet de fabriquer un revêtement circonférentiel sensiblement continu entourant un substrat non plan. Le procédé comprend les étapes suivantes: on utilise, pour déposer le revêtement, une technique de dépôt sensiblement non directionnelle et une géométrie de dépôt sur substrat sensiblement statique. Il est possible de déposer des revêtements possédant des caractéristiques de modulation piézo-électrique ou de modulation électro-optique. Idéalement, le revêtement a des propriétés semi-conductrices et il est à base d'oxyde de zinc. La technique de dépôt non directionnelle peut être une technique de dépôt chimique en phase vapeur par dépôt chimique en phase vapeur à une seule source. Parmi les substrats appropriés, on trouve les fibres optiques fixées par un collier de serrage sur une surface chauffante sensiblement plane durant la formation du dépôt. La fibre optique peut être fixée, durant la formation du dépôt, par une partie de sa longueur située à une extrémité d'une surface chauffante, de façon que les déplacements de son extrémité libre se limitent à des déplacements se faisant sensiblement le long de son axe.

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