C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
23
C
C23C 16/50 (2006.01) C23C 16/513 (2006.01) H05H 1/42 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01)
Patent
CA 2295180
A gas injection disc is provided which includes an outer ring and a tubular modular insert which slips into the outer ring. The outer ring is provided with an inner bore, a ring-shaped plenum located around the inner bore, an outer gas sealing surface around the plenum, and two gas feed paths extending from the periphery of the outer ring to the plenum. The gas feed paths are each provided with a gas feed attachment for coupling gas supply tubes thereto. The insert is provided with a plurality of radially aligned injectant holes, an inner gas sealing surface, and an axial bore. The insert is seated in the inner bore of the outer ring such that the inner and outer gas sealing surface face each other with a small gap provided therebetween which enables the insertion of the insert into the inner bore. The insert thereby substantially encloses the plenum, and the injectant holes are aligned with the plenum to receive injectant gases and direct the injectant gases into the axial bore of the insert. During the CVD process, the heat generated by the arc jet causes the insert to expand and eliminate the gap between the inner and outer sealing surfaces to thereby prevent undesirable gas leakage. Once the CVD operation is stopped the insert is permitted to cool and contract and return to its cooled dimensions unencumbered by the outer ring. The insert may then be removed for cleaning or for replacement with an insert having different characteristics.
On décrit un disque d'injection de gaz comprenant un anneau externe et une intercalation modulaire tubulaire qui se glisse dans l'anneau externe. L'anneau externe est doté d'un alésage interne, d'un plénum en forme d'anneau situé autour de l'alésage interne, d'une surface d'étanchéité extérieure pour le gaz située autour du plénum et de deux voies d'alimentation en gaz qui partent de la périphérie de l'anneau externe et vont jusqu'au plénum. Les voies d'alimentation en gaz sont chacune dotées d'une fixation qui permet de coupler à cette dernière les deux tuyaux d'alimentation en gaz. L'élément d'intercalation est pourvu d'une pluralité de trous d'injection radialement alignés, d'une surface d'étanchéité interne au gaz et d'un alésage axial. L'élément d'intercalation se loge dans l'alésage interne de l'anneau externe de sorte que les surfaces d'étanchéité interne et externe pour le gaz se trouvent face à face et qu'un petit espace situé entre ces dernières permette introduire l'élément d'intercalation dans l'alésage interne. L'élément d'intercalation entoure ainsi sensiblement le plénum et les trous d'injection sont alignés sur le plénum pour recevoir des gaz d'injection et diriger ces derniers dans l'alésage axial de l'élément d'intercalation. Pendant le procédé DCPV, la chaleur générée par le générateur d'arc fait se dilater l'élément d'intercalation qui remplit alors l'espace existant entre les surfaces d'étanchéité interne et externe et empêche ainsi la fuite indésirable du gaz. Lorsque l'opération DCPV est terminée, l'élément d'intercalation peut se refroidir et se contracter pour revenir à ses dimensions à l'état refroidi où il n'est pas encombré par l'anneau externe. On peut enlever l'élément d'intercalation pour le nettoyer ou pour le remplacer par un élément d'intercalation possédant des caractéristiques différentes.
Heuser Michael Scott
Quirk George
Raney Daniel V.
Shepard C.b. Jr.
Saint-Gobain Industrial Ceramics Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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