B - Operations – Transporting – 25 – J
Patent
B - Operations, Transporting
25
J
B25J 15/06 (2006.01) F16F 7/00 (2006.01) H01L 21/00 (2006.01) H01L 21/683 (2006.01) H01L 21/687 (2006.01) H01L 31/18 (2006.01)
Patent
CA 2688226
The invention relates to a gripper (1), in particular a Bernoulli gripper for holding two-dimensional components such as silicon-based wafers (2) with a low degree of loading, having a clamping ring (4) connected to a controllable robot arm (3), having a baffle plate (6) which is connected to the clamping ring (4) by means of a funnel-shaped component (5) and has a gripping face (7) which communicates with a flow system (8) which passes through the funnel-shaped component (5) and the baffle plate (6) and by means of which, after an excess pressure has been applied to the Bernoulli gripper (1), a negative pressure is to be produced on the gripping face (7) of the baffle plate (6) in order to attach by suction the wafer (2) to be gripped, having a rubberized bearing surface (9) of a bearing ring (10) which is integrated in the gripping face (7) and provides a slip-resistant movement of the wafer (2) attached to the gripping face (7) by suction, and having a sensor (11) for detecting the wafer (2) attached to the gripping face (7) by suction. In order to permit an extremely shock-resistant attachment of the wafer to be gripped on the gripping face of the gripper, the invention provides a damping device (12) which is circumferentially adapted to the gripper (1), the contour of which device, as viewed in the plan view of the gripper (1), protrudes circumferentially above the contour of the latter, and which device forms such a damping resistance for the wafer (2) to be gripped during its suction-induced approach towards the gripping face (7) that the wafer (2) comes to bear in a shock-free manner against the rubberized bearing surface (9) of the bearing ring (10).
L'invention concerne un organe de préhension (1), notamment un organe de préhension selon Bernoulli, destiné à réceptionner sans nécessiter de fortes sollicitations des éléments plats tels que des tranches (2) à base de silicium, cet organe comportant les éléments suivants: une bague de serrage (4) reliée à un bras de robot (3) asservi; une plaque d'impact (6) reliée à la bague de serrage (4) par un élément en entonnoir (5) et dotée d'une surface de préhension (7) communiquant avec un système d'écoulement (8) qui traverse l'élément en entonnoir (5) et la plaque d'impact (6) et qui permet, l'organe de préhension selon Bernoulli (1) étant soumis à une surpression, de générer une dépression à la surface de préhension (7) de la plaque d'impact (6) pour aspirer la tranche (2) à saisir; une surface d'appui (9) d'une bague d'appui (10), caoutchoutée et intégrée dans la surface de préhension (7), cette surface d'appui permettant de déplacer sans qu'elle ne glisse la tranche (2) aspirée se trouvant contre la surface de préhension (7); un capteur (11) qui identifie la tranche (2) aspirée se trouvant contre la surface de préhension (7). L'invention vise à appliquer la tranche à saisir contre la surface de préhension de l'organe de préhension avec le moins d'à-coups possible. A cet effet, un dispositif d'amortissement (12) périphérique adapté à l'organe de préhension (1) présente un contour qui, vu de dessus l'organe de préhension (1), est en saillie périphérique relativement audit organe, ce dispositif d'amortissement (12) développant une résistance d'amortissement telle, pour la tranche (2) à saisir dans son mouvement d'approche provoqué par aspiration vers la surface de préhension (7), que la tranche (2) appuie en douceur contre la surface d'appui (9) de la bague d'appui (10).
Jonas Stefan
Redmann Lutz
Jonas & Redmann Automationstechnik Gmbh
Riches Mckenzie & Herbert Llp
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1838317