G - Physics – 01 – R
Patent
G - Physics
01
R
G01R 31/44 (2006.01) G01J 1/42 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01)
Patent
CA 2236068
Two detectors are effectively positioned at a predetermined lateral position in a rectangular illumination field at a wafer plane. The ratio of the signals from the two detectors is calculated. This ratio is indicative of the quality of the illumination field and any lamp instability which may effect the illumination field, and therefore image quality. In a photolithographic device, a short arc mercury xenon lamp provides illumination for projecting the image of a reticle onto a photosensitive resist covered substrate or wafer. The desired illumination intensity profile is sensitive to lamp instability. This instability may alter the desired illumination intensity profile which may adversely effect image quality, and therefore the resulting product. The ratio of the signals received from predetermined locations laterally along the illumination intensity profile improves the detection of unstable lamps. The detectors are positioned at locations of relatively steep slope in the illumination intensity profile thereby increases sensitivity.
Deux détecteurs sont placés de manière efficace à un emplacement latéral prédéterminé du champ d'éclairement rectangulaire d'un plan de plaquette. Ainsi, lorsqu'on calcule le rapport entre les signaux émis par les deux détecteurs, on est en mesure de déterminer la qualité du champ d'éclairement ainsi que toute instabilité de la lampe pouvant affecter ce champ d'éclairement et, par conséquent, la qualité de l'image. Dans un dispositif photolithographique, on utilise une lampe à arc au mercure et au xénon pour projeter l'image d'un réticule sur un substrat ou une plaquette recouverte d'une résine photosensible. Le profil d'intensité d'éclairement que l'on souhaite obtenir est sensible à l'instabilité de la lampe. Or cette instabilité peut altérer le profil d'intensité d'éclairement voulu et affecter défavorablement la qualité de l'image ainsi que le produit obtenu. Le rapport entre les signaux reçus au niveau d'un emplacement latéral prédéterminé du profil d'intensité d'éclairement permet de mieux détecter les lampes instables. Pour augmenter la sensibilité des détecteurs, on les dispose à des emplacements où le profil d'intensité de l'éclairement offre une assez forte pente.
Osler Hoskin & Harcourt Llp
Svg Lithography Systems Inc.
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