B - Operations – Transporting – 67 – D
Patent
B - Operations, Transporting
67
D
B67D 7/06 (2010.01) B67D 7/36 (2010.01) B24B 37/04 (2006.01) B24B 57/02 (2006.01) H01L 21/306 (2006.01)
Patent
CA 2248386
A liquid dispensing method and apparatus in which liquid is dispensed from chambers, that can be pressure vessels, to a flow circuit. A valve network is designed such that when one chamber functions in a dispense mode of operation another chamber functions in a return mode of operation in which unused liquid is sent back to such chamber so that liquid is continually circulated. The chamber or vessel undergoing the return mode of operation is vented through a valve that is either a pressure regulation valve having a set point of pressure or a remotely activated control valve response to liquid pressure at the point of use. In such manner internal pressure within the chamber or pressure vessel undergoing the return mode of operation is regulated to in turn regulate liquid pressure at the point of use. In case of pressure vessel operation, gas pressure within each pressure vessel can also be regulated in conjunction with internal pressure during the return mode to in turn regulate liquid pressure at the point of use. As a result of such pressure regulation, constant flow rate of liquid through the flow circuit and at the point or points of use can be assured.
Dispositif de distribution de liquide dans lequel le liquide passe de réservoirs, qui peuvent être des récipients sous pression, à un circuit de distribution. La robinetterie du circuit est conçue de manière que, lorsqu'un des réservoirs est en mode alimentation, un autre réservoir est mis en mode retour, où le liquide non utilisé est retourné au réservoir pour être remis en circulation. Le réservoir fonctionnant en mode retour est mis à l'air libre par un régulateur de pression réglé à une valeur de consigne ou commandé à distance par la pression du liquide au point d'utilisation. Ainsi, la pression à l'intérieur du réservoir en mode retour est réglée pour pouvoir régler à son tour la pression du liquide au point d'utilisation. Dans le cas de récipients sous pression, la pression du gaz à l'intérieur du récipient peut également être réglée en mode retour pour régler la pression du liquide au point d'utilisation. Ce système de régulation de la pression permet d'obtenir un débit constant dans le circuit et aux différents points d'utilisation.
Pozniak Peter M.
Roberts Benjamin R.
Air Liquide Electronics U.s. Lp
Ledgley Law
The Boc Group Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1963253