H - Electricity – 01 – J
Patent
H - Electricity
01
J
H01J 3/40 (2006.01) H01J 37/30 (2006.01) H01J 37/317 (2006.01) H01L 21/425 (2006.01)
Patent
CA 2191115
A method of capturing and removing contaminant particles moving within an evacuated interior region of an ion beam implanter is disclosed. The steps of the method include: providing a particle collector having a surface to which contaminant particles readily adhere; securing the particle collector to the implanter such that particle adhering surface is in fluid communication to the contaminant particles moving within the interior region; and removing the particle collector from the implanter after a predetermined period of time. An ion implanter in combination with a particle collector for trapping and removing contaminant particles moving in an evacuated interior region of the implanter traversed by an ion beam is also disclosed, the particle collector including a surface to which the contaminant particles readily adhere and securement means for releasably securing the particle collector to the implanter such that the particle adhering surface is in fluid communication with the evacuated interior region of the implanter.
rocédé de captage et d'élimination des particules contaminantes présentes dans l'enceinte sous vide d'un appareil d'implantation ionique, comportant les étapes suivantes : réalisation d'un dispositif de captage présentant une surface à laquelle les particules à éliminer peuvent facilement être adsorbées; mise en place du dispositif de captage dans l'appareil d'implantation ionique de manière qu'il n'y ait pas d'obstacle entre les particules contaminantes circulant dans l'enceinte de l'appareil et la surface d'adsorption; retrait du dispositif de captage après une période d'une durée déterminée. Appareil d'implantation ionique équipé d'un dispositif pour le captage et l'élimination des particules contaminantes circulant dans l'enceinte à faisceau sous vide de l'appareil, ledit dispositif de captage de particules présentant une surface à laquelle les particules à éliminer peuvent facilement être adsorbées et comportant un dispositif de fixation permettant de le fixer de façon amovible à l'appareil de manière qu'il n'y ait pas d'obstacle entre les particules à éliminer de l'enceinte sous vide de l'appareil et la surface d'adsorption.
Becker Robert
Blake Julian G.
Chipman David
Jones Mary
Menn Lyudmila
Axcelis Technologies Inc.
Borden Ladner Gervais Llp
Corporation Eaton
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1945399