Method and apparatus for preparation of granular polysilicon

C - Chemistry – Metallurgy – 30 – B

Patent

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Details

C30B 29/06 (2006.01) C30B 25/00 (2006.01)

Patent

CA 2660075

A process for preparing granular polysilicon using a fluidized bed reactor is disclosed. The upper and lower spaces of the bed are defined as a reaction zone and a heating zone, respectively, with the height of the reaction gas outlet being selected as the reference height. The invention maximizes the reactor productivity by sufficiently providing the heat required and stably maintaining the reaction temperature in the reaction zone, without impairing the mechanical stability of the fluidized bed reactor. This is achieved through electrical resistance heating in the heating zone where an internal heater is installed in a space in between the reaction gas supplying means and the inner wall of the reactor tube, thereby heating the fluidizing gas and the silicon particles in the heating zone. The heat generated in the heating zone is transferred to the reaction zone by supplying the fluidizing gas at such a rate that the silicon particles can be intermixed between the reaction zone and the heating zone in a continuous, fluidized state.

L'invention concerne un procédé de préparation de silicium polycristallin granulaire au moyen d'un réacteur à lit fluidisé. Des espaces supérieurs et inférieurs de ce lit sont définis, respectivement, en tant que zone de réaction et zone de chauffage, la hauteur de la sortie de gaz de réaction étant choisie en tant que hauteur de référence. L'invention permet de maximiser la productivité du réacteur par fourniture de la chaleur suffisante requise et de maintenir la stablilité de la température de réaction dans la zone de réaction, sans altérer la stabilité mécanique du réacteur à lit fluidisé. Ceci est réalisé par un chauffage à résistance électrique dans la zone de chauffage au niveau de laquelle un dispositif de chauffage interne est installé dans un espace situé entre les organes d'alimentation en gaz de réaction et la paroi interne du tube de réacteur, chauffant ainsi le gaz et les particules de silicium de la zone de chauffage. La chaleur générée dans la zone de chauffage est transférée dans la zone de réaction par alimentation de gaz de fluidisation à une vitesse telle, que les particules de silicium puissent être mélangées entre la zone de réaction et la zone de chauffage de manière fluidisée et continue.

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