C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
23
C
C23C 16/04 (2006.01) C23C 16/515 (2006.01) C23C 16/52 (2006.01)
Patent
CA 2598761
A method and system for coating the internal surfaces of a workpiece (10) is presented. A bias voltage (12) is connected to a workpiece, which functions as a cathode. A gas source (34) and a vacuum source (44) are coupled to each opening through a flow control system. The flow control system is capable of a first mode (110 and 112) which enables a first opening to function as a gas inlet and a second opening to function as a vacuum exhaust. The flow control system also has a second mode (114) which enables a first opening to function as a vacuum exhaust and a second opening to function as a gas inlet . The cycling may also be used to coat internal surfaces of a workpiece with a single opening. Cycling the flow control system between the first mode and second mode is performed until a uniform coating along the internal surfaces of the workpiece is achieved.
La présente invention concerne un procédé et un système permettant de revêtir les surfaces internes d'une pièce de travail (10). Une tension de polarisation (12) est connectée à une pièce de travail servant de cathode. Une source de gaz (34) et une source de vide (44) sont couplées à chaque ouverture par un système de commande de flux. Le système de commande de flux est capable de fonctionner dans un premier mode (110 et 112) qui permet à une première ouverture d'être utilisée comme orifice d'admission de gaz et à une deuxième ouverture d'être utilisée comme orifice d'évacuation de vide. Le système de commande de flux comprend également un deuxième mode (114) qui permet à une première ouverture d'être utilisée comme orifice d'évacuation de vide et à une deuxième ouverture d'être utilisée comme orifice d'admission de gaz. La technique de variations cycliques peut également être utilisée pour revêtir des surfaces internes d'une pièce de travail dotée d'une seule ouverture. Les variations cycliques du système de commande de flux entre le premier mode et le deuxième mode sont appliquées jusqu'à ce qu'un revêtement uniforme soit obtenu le long des surfaces internes de la pièce de travail.
Boardman William John
Contreras Frederick
Mercado Raul Donate
Tudhope Andrew William
Smart & Biggar
Sub-One Technology Inc.
LandOfFree
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