Mind-array laser device for thin surface objects, especially...

Details Mind-array laser device for thin surface objects, especially... Mind-array laser device for thin surface objects, especially...

H - Electricity

01

L

356/192

H01L 21/428 (2006.01) B23K 26/12 (2006.01) C23C 16/04 (2006.01) C23C 16/48 (2006.01) H01L 21/00 (2006.01)

Patent

CA 2003847

PRÉCIS La machine selon l'invention comprend une en- ceinte étanche dans laquelle est fixé un objectif de microscope recevant un faisceau laser par l'intermédiaire d'un hublot transparent de forte épaisseur, et qui contient un réacteur formé d'une boite étanche dont le couvercle comprend un hublot transparent de faible épaisseur sous lequel est place l'objet à couche mince à traiter. Des moyens permettent de faire le vide dans l'enceinte et le réacteur et d'amener un gaz réactif dans le réacteur. L'invention s'applique notamment au traitement des circuits électroniques, des circuits hybrides

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