Modular gridless ion source

Details Modular gridless ion source Modular gridless ion source

F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons

03

H

F03H 1/00 (2006.01)

Patent

CA 2495416

In accordance with one embodiment of the present invention, the ion-beam apparatus takes the form of an end-Hall ion source in which the detachable anode module incorporates the outer pole piece and includes an enclosure around the anode that both minimizes the loss of working gas and confines sputter contamination to the interior of this enclosure. This detachable anode module is substantially smaller than the entire end- Hall ion source, weighs substantially less, and can be duplicated for significantly less cost than the duplication of the entire ion source. In general, the components of the magnetic circuit determine the overall size, weight, and much of the cost of a gridless ion source. The reduced size, weight, and cost of the detachable anode module compared to the entire ion source is due to most of the magnetic circuit being excluded from the detachable module.

Selon un mode de réalisation de la présente invention, le dispositif à faisceau d'ions se présente sous forme de source d'ions à effet Hall dans laquelle le module d'anode détachable comporte la pièce de pôle externe et comprend une enceinte située autour de l'anode qu réduit au minimum les pertes de gaz de travail et confine les agents contaminants issus de la pulvérisation à l'intérieur de cette enceinte. Ce module d'anode détachable est sensiblement plus petit que l'ensemble de la source d'ions à effet Hall, sensiblement moins lourd, et peut être reproduit à un coût sensiblement inférieur à celui pour la reproduction de l'ensemble de la source d'ions. Globalement, les compsants du circuit magnétique déterminent les dimensions, le poids et une grande partie des coûts globaux d'une source d'ions sans grille. Les dimensions réduites, le poids et les coûts de ce module d'anode détachable, par rapport à l'ensemble de la source d'ions, sont dus principalement au fait que le circuit magnétique est exclu du module détachable.

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