G - Physics – 01 – N
Patent
G - Physics
01
N
G01N 27/407 (2006.01)
Patent
CA 2701942
Embodiments of the subject invention relate to a gas sensor and method for sensing one or more gases. An embodi-ment incorporates an array of sensing electrodes maintained at similar or different temperatures, such that the sensitivity and species selectivity of the device can be fine tuned between different pairs of sensing electrodes. A specific embodiment pertains to a gas sensor array for monitoring combustion exhausts and/or chemical reaction byproducts. An embodiment of the subject device related to this invention operates at high temperatures and can withstand harsh chemical environments. Embodiments of the device are made on a single substrate. The devices can also be made on individual substrates and monitored individually as if they were part of an array on a single substrate. The device can incorporate sensing electrodes in the same environment, which allows the electrodes to be coplanar and, thus, keep manufacturing costs low. Embodiments of the device can provide improvements to sensitivity, selectivity, and signal interference via surface temperature control.
Des modes de réalisation de l'invention se rapportent à un capteur de gaz et à un procédé permettant de détecter un ou plusieurs gaz. Un mode de réalisation intègre un réseau d'électrodes de détection maintenues à des températures similaires ou différentes, de sorte que la sensibilité et la sélectivité d'espèces du dispositif puissent être réglées avec précision entre différentes paires d'électrodes de détection. Un mode de réalisation spécifique se rapporte à un réseau de capteurs de gaz pour surveiller les échappements de combustion et/ou les sous-produits de réaction chimique. Un mode de réalisation du dispositif de la présente invention fonctionne à des températures élevées et peut résister à des environnements chimiques agressifs. Des modes de réalisation du dispositif sont réalisés sur un substrat unique. Les dispositifs peuvent également être fabriqués sur des substrats individuels et être surveillés individuellement comme s'ils faisaient partie d'un réseau sur un substrat unique. Le dispositif peut intégrer des électrodes de détection dans le même environnement, ce qui permet aux électrodes d'être coplanaires et permet ainsi d'obtenir de faibles coûts de fabrication. Des modes de réalisation du dispositif peuvent apporter des améliorations à la sensibilité, à la sélectivité, et à l'interférence de signal, grâce au contrôle de la température de surface.
Blackburn Bryan M.
Wachsman Eric D.
Mbm Intellectual Property Law Llp
University Of Florida Research Foundation Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1486766