Multilayer microelectronic circuit with trimmable capacitors

H - Electricity – 01 – G

Patent

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Details

H01G 5/01 (2006.01) H01G 4/30 (2006.01) H01G 5/38 (2006.01) H03H 7/01 (2006.01) H03H 7/12 (2006.01)

Patent

CA 2228321

In accordance with the present invention, there is provided a multilayer microelectronic circuit which is adjustable in capacitance. The circuit comprises a main capacitor dielectric layer, a main capacitor first electrode disposed on one of opposite sides of the main capacitor dielectric layer, a main capacitor second electrode disposed on the other of the opposite sides of the main capacitor dielectric layer in a way as to oppose the main capacitor first electrode through the main capacitor dielectric layer, a first trimming capacitor dielectric layer disposed on a side of the main capacitor first electrode opposite to the main capacitor dielectric layer, a first trimming capacitor electrode disposed on a side of the first trimming capacitor dielectric layer opposite to the main capacitor first electrode in a way as to oppose the main capacitor first electrode through the first trimming capacitor dielectric layer, a second trimming capacitor dielectric layer disposed on a side of the first trimming capacitor electrode opposite to the first trimming capacitor dielectric layer, and a second trimming capacitor electrode disposed on a side of the second trimming capacitor dielectric layer opposite to the first trimming capacitor electrode in a way as to oppose the first trimming capacitor electrode through the second trimming capacitor dielectric layer. The first trimming capacitor electrode is first trimmed for rough adjustment of a capacitance of the circuit. The second trimming capacitor electrode is then trimmed for fine adjustment of the capacitance. The provision of two trimmable electrodes enable adjustment of the capacitance in a wider range and with an improved accuracy.

L'invention porte sur un circuit micro-électronique multicouche dont la capacité est réglable. Le circuit comprend les éléments suivants : une couche diélectrique de condensateur principal; une première électrode de condensateur principal, placée sur un des côtés opposés de la couche diélectrique susmentionnée; une seconde électrode de condensateur principal disposée sur l'autre côté opposé de la couche en question de façon à faire face à la première électrode susmentionnée à travers la couche diélectrique; une première couche diélectrique de condensateur ajustable placée sur un côté de la première électrode de condensateur principal et opposée à la couche diélectrique de condensateur principal; une première électrode de condensateur ajustable placée sur un côté de la première couche diélectrique de condensateur ajustable et opposée à la première électrode de condensateur principal d'une façon à y faire face à travers la couche diélectrique susmentionnée; une seconde couche diélectrique de condensateur ajustable disposée sur un côté de la première électrode de condensateur ajustable et opposée à la première couche diélectrique de condensateur ajustable; et une seconde électrode de condensateur ajustable placée sur un côté de la seconde couche diélectrique de condensateur ajustable et opposée à la première électrode de condensateur ajustable d'une façon à y faire face à travers la couche diélectrique susmentionnée. Premièrement, la première électrode de condensateur ajustable est ajustée pour obtenir un réglage approximatif de la capacité du circuit. Puis, la seconde électrode de condensateur ajustable est ajustée afin d'obtenir un réglage fin de la capacité. Grâce aux deux électrodes ajustables, il est possible d'ajuster la capacité de façon plus précise et sur une plus grande échelle.

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