Non-thermal plasma slit discharge apparatus

H - Electricity – 01 – J

Patent

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Details

H01J 37/32 (2006.01) B01D 53/32 (2006.01) B01J 12/00 (2006.01) B01J 19/08 (2006.01) F01N 3/08 (2006.01) H05H 1/24 (2006.01) F01N 3/028 (2006.01)

Patent

CA 2463554

A non-thermal atmospheric pressure plasma reactor including a primary dielectric having at least one slit defined therein and a segmented electrode including a plurality of electrode segments. Each electrode segment disposed proximate and in fluid communication with an associated slit. The slit in the dielectric may be formed in any number of ways such as a plurality of slits defined in a substantially planar dielectric plate. Other configurations include a plurality of dielectric segments (e.g., bars, slabs, rings, annular sections) assembled together so that a slit is formed between adjacent dielectric segments. In operation a voltage differential is applied between the segmented electrode and a receiving electrode disposed proximate the primary dielectric to produce a plasma discharge. The plasma discharge is emitted through the slits in the primary dielectric. This inventive plasma discharge device configuration produces a relatively high density non-thermal plasma discharge of relatively large volume yet is relatively easy and inexpensive to manufacture.

L'invention concerne un réacteur à plasma non thermique à la pression atmosphérique comprenant un diélectrique primaire comportant au moins une fente et une électrode segmentée comprenant une pluralité de segments d'électrode. Ces segments d'électrode sont respectivement disposés à proximité d'une fente correspondante avec laquelle ils se trouvent en communication fluidique. La fente ménagée dans le diélectrique peut être formée selon un nombre quelconque de configurations, et peut par exemple se présenter sous la forme d'une pluralité de fentes définie dans une plaque diélectrique sensiblement plane. D'autres configurations comprennent une pluralité de segments diélectriques (par ex. des barres, blocs, anneaux, sections annulaires) assemblés les uns aux autres, de façon à former une fente entre des segments diélectriques adjacents. En mode de fonctionnement, une différence de tension est appliquée entre l'électrode segmentée et une électrode de réception disposée à proximité du diélectrique primaire afin de produire une évacuation de plasma. Cette évacuation de plasma s'effectue à travers les fentes ménagées dans le diélectrique primaire. La configuration du dispositif d'évacuation de plasma selon l'invention permet d'évacuer, selon un volume relativement élevé, du plasma non thermique de densité relativement élevée, et peut néanmoins être produite de manière relativement aisée et à un coût très réduit.

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