Optical modulator

G - Physics – 02 – B

Patent

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G02B 5/28 (2006.01) G02B 26/00 (2006.01)

Patent

CA 2641878

A micro-opto-electro-mechanical systems (MOEMS) electro optical modulator (2) having an electrically tuneable optical resonator comprising an asymmetric Fabry-Perot etalon incorporating a mirror (10) resiliency biased with respect to a substrate (13) and moveable in relation thereto in response to a voltage applied there-between. The optical modulator (2) is capable of modulating electromagnetic radiation having a plurality of wavelengths. The modulator is adapted to modulate the transmission of short wave infrared radiation (SWIR), medium wave infrared radiation (MWIR) and long wave infrared radiation (LWIR) and the reflection of visible radiation. A spatial optical modulator having a plurality of said MOEMS optical modulators (2). A method of addressing said spatial optical modulator.

La présente invention concerne un modulateur électro-optique (2) de systèmes mécaniques microélectriques optiques (MOEMS) comprenant un résonateur optique électriquement accordable comportant un étalon Fabry-Perot asymétrique incorporant un miroir (10) à polarisation élastique par rapport à un substrat (13) et mobile par rapport à celui-ci en réponse à une tension appliquée entre eux. Le modulateur optique (2) est apte à la modulation d'un rayonnement électromagnétique ayant une pluralité de longueurs d'onde. Le modulateur est adapté pour la modulation de la transmission de rayonnement infrarouge à ondes courtes (SWIR), de rayonnement infrarouge à ondes moyennes (MWIR) et de rayonnement infrarouge àondes longues (LWIR) et la réflexion de rayonnement visible. L'invention concerne également un modulateur optique spatial comprenant une pluralité desdits modulateurs optiques de systèmes mécaniques microélectriques à optiques. L'invention concerne en outre un procédé d'adressage dudit modulateur optique spatial.

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