H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 41/08 (2006.01) B41J 2/045 (2006.01) B41J 2/055 (2006.01) B41J 2/14 (2006.01) B41J 2/16 (2006.01) H01L 41/24 (2006.01) G01C 19/56 (2006.01)
Patent
CA 2438360
In a piezoelectric element, an adhesive layer is provided on a substrate, a first electrode layer made of a noble metal containing titanium or titanium oxide is provided on the adhesive layer, and an orientation control layer that is oriented along a (100) or (001) plane is provided on the first electrode layer. On a surface of the orientation control layer that is closest to the first electrode layer, a (100)- or (001)-oriented region extends over titanium or titanium oxide located on a surface of the first electrode layer that is closest to the orientation control layer, and the cross-sectional area of the region in the direction perpendicular to the thickness direction gradually increases in the direction away from the first electrode layer toward the opposite side. Further, a piezoelectric layer that is oriented along a (001) plane is provided on the orientation control layer.
L'invention concerne un élément piézoélectrique comprenant un substrat (11) sur lequel est déposée une couche (12) d'adhésion. Ladite couche (12) d'adhésion est recouverte d'une couche (14) comprenant une première électrode faite d'un métal noble contenant du titane ou de l'oxyde de titane. Ladite couche (14) comprenant une première électrode est recouverte d'une couche (15) de stabilisation prioritairement orientée sur le plan (100) ou le plan (001). La surface de la couche (15) de stabilisation et sa proximité par rapport au côté de la première électrode (14) permettent d'obtenir une région orientée sur le plan (100) ou le plan (001) sur le titane ou l'oxyde de titane de la surface du côté de la couche (15) de stabilisation de la couche (14) comprenant la première électrode. Ladite région comprend une zone transversale verticale par rapport à la direction d'épaisseur de la couche augmentant du côté de la couche (14) comprenant la première électrode vers le côté opposé. La couche (15) de stabilisation comprend une couche piézoélectrique (16) prioritairement orientée sur le plan (001).
Fujii Eiji
Hirasawa Taku
Murata Akiko
Takayama Ryoichi
Tomozawa Atsushi
Kirby Eades Gale Baker
Matsushita Electric Industrial Co. Ltd.
Panasonic Corporation
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1778020