G - Physics – 05 – D
Patent
G - Physics
05
D
G05D 7/06 (2006.01) G05D 16/20 (2006.01)
Patent
CA 2212547
A pressure type flow rate control apparatus (1) controls flow rate of a fluid in an environment where a ratio of P2/P1 between an absolute pressure P1 at an upstream side of an orifice and an absolute pressure P2 at a downstream side of the orifice is maintained at a value less than about 0.7. The apparatus comprises: a plate for forming the orifice (5); a control valve (2) positioned upstream of the orifice; an orifice corresponding valve (9) positioned downstream of the orifice (5); a primary pressure detector (3) positioned between the control valve (2) and the orifice (5); a secondary pressure detector (11) positioned downstream of the orifice (5); a calculation control device (6) for calculating flow rate Qc on the basis of the measured pressure P1 of the primary pressure detector (3) by a formula Qc = KP1 (K being a constant) and for outputting as a control signal Qy a difference between a flow rate command signal Qs and the calculated flow rate signal Qc to a drive unit (14) of the control valve 2; and a pressure comparing, calculating apparatus (10) for calculating the ratio of P2/P1 between the detected pressure P1 of the primary pressure detector (3) and the detected pressure P2 of the secondary pressure detector (11). The pressure P1 upstream of the orifice is adjusted by opening and closing the control valve by the control signal Qy, thereby controlling the flow rate downstream of the orifice.
Cette invention concerne un régulateur de débit pneumatique (1) qui règle le débit dans un circuit où le rapport P2/P1 entre une pression absolue P1 en amont d'un diaphragme et une pression absolue P2 en aval dudit diaphragme est maintenu à une valeur inférieure à 0,7. Le régulateur est composé d'un diaphragme (5), d'un robinet de régulation (2) disposé en amont du diaphragme, d'un robinet complémentaire (9) en aval dudit diaphragme, d'un capteur de pression principal (3) placé entre le robinet de régulation (2) et le diaphragme (5), d'un capteur de pression secondaire (11) placé en aval dudit diaphragme, d'un dispositif de commande à calculateur (6) qui détermine le débit Qc en fonction de la pression P1 mesurée par le capteur de pression principal (3) et d'après la formule Qc = KP1 (K étant une constante) et qui transmet au moteur (14) du robinet de régulation un signal de commande Qy fonction de l'écart entre un signal de consigne Qs et le signal dérivé du débit calculé Qc et d'un comparateur de pression (10) servant à calculer le rapport P2/P1 entre la pression P1 captée par le capteur de pression principal (3) et la pression P2 captée par le capteur de pression secondaire (11). La pression P1 en amont du diaphragme est modifiée en ouvrant et en fermant le robinet de régulation selon le signal de commande Qc, ce qui détermine le débit en aval du diaphragme.
Dohi Ryosuke
Fukuda Hiroyuki
Ikeda Nobukazu
Kawada Koji
Minami Yukio
Fujikin Incorporated
Ohmi Tadahiro
Riches Mckenzie & Herbert Llp
Tokyo Electron Ltd.
LandOfFree
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