C - Chemistry – Metallurgy – 03 – C
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
03
C
C03C 17/36 (2006.01) C23C 14/08 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01)
Patent
CA 2374768
Tin is added to a zinc cathode target to enhance the sputter efficiency of the target. Films deposited using the cathode, e.g., greater than zero but less than 10 weight percent tin and greater than 90 but less than 100 weight percent zinc improve the chemical durability of a high transmittance, low emissivity coating stack over coating stacks having zinc oxides without tin oxide. High transmittance, low emissivity coating stacks are heated with the heated coating having reduced haze by selecting the thickness of metal primer layer between an infrared reflective film, e.g. a silver film and a dielectric film, e.g., a 52-48 zinc stannate, zinc oxide, tin oxide film or a zinc oxide film. Also disclosed are enhancing films that lower the resistivity of silver films deposited thereon and improve chemical durability of the coating stack.
De l'étain est ajouté à une cible cathodique de zinc afin d'améliorer le rendement de pulvérisation de la cible. Des couches minces déposées à l'aide de la cathode, par exemple, plus de 0 mais moins de 10 % en poids d'étain et plus de 90 mais moins de 100 % en poids de zinc améliorent la durabilité chimique d'une pile de revêtement à transmittance élevée, émissivité faible, sur des piles de revêtement présentant des oxydes de zinc sans oxyde d'étain. Des piles de revêtement à transmittance élevée et faible émissivité sont chauffées, les revêtements chauffés présentant un niveau de trouble réduit du fait d'une sélection de l'épaisseur de la couche primaire métallique entre une couche mince réfléchissant l'infrarouge, par exemple une couche mince en argent et une couche mince diélectrique, par exemple, une couche mince de stanate de zinc, d'oxyde de zinc, d'oxyde d'étain ou une couche mince d'oxyde de zinc (52-48). L'invention concerne également des couches minces d'amélioration abaissant la résistivité de couches minces en argent déposées sur celles-ci et améliorant la durabilité chimique de la pile de revêtement.
Borden Ladner Gervais Llp
Ppg Industries Ohio Inc.
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