Relay device using conductive fluid

H - Electricity – 01 – H

Patent

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Details

H01H 57/00 (2006.01) H01H 29/02 (2006.01)

Patent

CA 2596298

A relay device using a conductive fluid and having an excellent switching response is provided. The relay device is formed by bonding a semiconductor substrate to an insulator substrate, and mainly comprises a stacked layer body having an interior space, at least two contact points exposed to the interior space, a diaphragm portion facing the interior space, conductive fluid sealed in the interior space, and an actuator for elastically deforming the diaphragm portion. The diaphragm portion is provided on the semiconductor substrate, so that the drive force of the actuator necessary for elastically deforming the diaphragm portion can be reduced and the volume change of the interior space can be obtained with a fast response. This volume change causes the positional displacement of the conductive fluid in the interior space, thereby forming a conduction state or non-conduction state between the contact points.

La présente invention concerne un dispositif relais utilisant un fluide conducteur et présentant une excellente réponse de commutation. Ce dispositif relais est fabriqué en liant un substrat semi-conducteur à un substrat isolant, et comprend principalement un corps en couches empilées comportant un espace intérieur, au moins deux points de contact exposés à l~espace intérieur, une portion de diaphragme faisant face à l~espace intérieur, un fluide conducteur scellé dans l~espace intérieur et un activateur servant à déformer élastiquement la portion de diaphragme. La portion de diaphragme est disposée sur le substrat semi-conducteur, de sorte que la force de commande de l'activateur nécessaire pour déformer élastiquement la portion de diaphragme peut être réduite et que le changement de volume de l~espace intérieur peut être obtenu avec une réponse rapide. Ce changement de volume entraîne un déplacement de la position du fluide conducteur dans l~espace intérieur, déterminant ainsi un état de conduction ou un état de non conduction entre les points de contact.

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