Semiconductor production plant

Details Semiconductor production plant Semiconductor production plant

H - Electricity

01

L

H01L 21/02 (2006.01) B01J 4/00 (2006.01) C25B 1/24 (2006.01) C25B 15/00 (2006.01) F17D 1/02 (2006.01)

Patent

CA 2641563

A fluorine gas generator is connected with semiconductor production units (3a- 3e) through a gas supply system (2) having a tank (12) for storing a predetermined amount of fluorine gas generated from on-site fluorine gas generators (1a-1e). When one or more of the on-site fluorine gas generators (1a-1e) stop, fluorine gas is supplied from the storage tank (12) storing a predetermined amount of fluorine gas to the semiconductor production units (3a- 3e) thus sustaining operation of the semiconductor production units (3a-3e). Consequently, fluorine gas generated from the fluorine gas generator can be supplied to the semiconductor production unit safely and stably, and a semiconductor production plant exhibiting excellent cost performance in semiconductor production can be attained.

La présente invention concerne un générateur de fluor gazeux qui est raccordé avec des unités de production de semi-conducteur (3a-3e) par l'intermédiaire d'un système d'alimentation en gaz (2) qui comporte un réservoir (12) pour stocker une quantité prédéterminée de fluor gazeux généré à partir de générateurs de fluor gazeux sur place (1a-1e). Lorsqu'un ou plusieurs des générateurs de fluor gazeux sur place (1a-1e) s'arrêtent, le fluor gazeux est distribué à partir du réservoir de stockage (12), qui stocke une quantité prédéterminée de fluor gazeux, jusqu'aux unités de production de semi-conducteur (3a-3e), supportant ainsi le fonctionnement des unités de production de semi-conducteur (3a-3e). Par conséquent, le fluor gazeux généré à partir du générateur de fluor gazeux peut être distribué à l'unité de production de semi-conducteur de manière sûre et stable, et une installation de production de semi-conducteur présentant d'excellentes performances de coût de production de semi-conducteur peut être obtenue.

Affiliated with

Also associated with

Rating

Semiconductor production plant does not yet have a rating. At this time, there are no reviews or comments for this patent.

If you have personal experience with Semiconductor production plant, we encourage you to share that experience with our LandOfFree.com community. Your opinion is very important and Semiconductor production plant will most certainly appreciate the feedback.

Rate now

Comments { 0 }

Profile ID: LFCA-PAI-O-2004904