G - Physics – 03 – D
Patent
G - Physics
03
D
G03D 5/00 (2006.01) C23C 16/54 (2006.01) H01L 21/00 (2006.01) H01L 21/31 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01) H01L 21/687 (2006.01)
Patent
CA 2369042
A semiconductor wafer processing system including a multi-chamber module having vertically-stacked semiconductor wafer process chambers and a loadlock chamber dedicated to each semiconductor wafer process chamber. Each process chamber includes a chuck for holding a wafer during wafer processing. The multi-chamber modules may be oriented in a linear array. The system further includes an apparatus having a dual-wafer single-axis transfer arm including a monolithic arm pivotally mounted within said loadlock chamber about a single pivot axis. The apparatus is adapted to carry two wafers, one unprocessed and one processed, simultaneously between the loadlock chamber and the process chamber. A method utilizing the disclosed system is also provided.
L'invention concerne un système de traitement de tranches de semi-conducteur comprenant un module multichambre présentant des chambres de traitement de tranches de semi-conducteur empilées verticalement ainsi qu'une chambre à sas de charge exclusif à chaque chambre de traitement de tranches de semi-conducteur. Chaque chambre de traitement comprend un mandrin destiné à maintenir une tranche pendant le traitement. Les modules multichambres peuvent être orientés en une rangée linéaire. Le système comprend également un appareil présentant un bras de transfert monoaxe à deux tranches comprenant un bras monolythique monté pivotant à l'intérieur de ladite chambre à sas de charge, autour d'un seul axe de pivot. L'appareil est adapté pour porter deux tranches, une non traitée et une traitée simultanément entre la chambre à sas de charge et la chambre de traitement. L'invention concerne également un procédé utilisant le système décrit.
Carvalheira Helder R.
Cossentine Dan L.
Mayer Bruce E.
Menagh Frank S.
Savage Richard N.
Silicon Valley Group Thermal Systems Llc
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1718221