H - Electricity – 05 – H
Patent
H - Electricity
05
H
H05H 1/46 (2006.01) H01J 37/32 (2006.01)
Patent
CA 2347417
A waveguide structure (1) has at least one shaped slot (3) machined in the wall of the waveguide (2). The slot (3) is configured such that a high voltage is generated across the slot (3) when the waveguide (2) is excited with high- power microwaves. The strong electric fields generated in the region of the slot can be used to produce a non-equilibrium plasma discharge (7) in a working gas (9) in the vicinity of the slot (3). Various substrates can be translated past the slot (3) and exposed to the plasma species generated by the microwave discharge. The slotted waveguide structure (1) is designed to operate as a traveling wave structure with microwave energy uniformly dissipated along the length of the slot (3). The structure can be designed to operate over the pressure range of about 10 Torr to atmospheric pressure, i.e., about 760 Torr, using a wide variety of gases and gas mixtures.
L'invention concerne une structure (1) guide d'ondes comprenant au moins une fente (3) profilée pratiquée dans la paroi du guide d'ondes (2). Cette fente (3) est configurée de telle manière qu'une tension élevée est générée à travers la fente (3) lorsque le guide d'ondes (2) est excité de manière adéquate par des hyperfréquences haute puissance. Les puissants champs électriques générés dans la région de la fente (3) peuvent être utilisés pour produire une décharge (7) de plasma de déséquilibrage dans un gaz (9) de travail introduit dans le voisinage de la fente (3). On peut faire passer différents substrats devant la fente (3) et les exposer aux espèces de plasma générées par la décharge à hyperfréquences. La structure (1) de guide d'ondes à fente (3) est conçue pour agir comme une structure à onde progressive dans laquelle l'énergie hyperfréquence est dissipée uniformément sur toute la longueur de la fente (3). Cette structure peut être conçue pour fonctionner avec des pressions couvrant un intervalle allant d'environ 10 Torr à la pression atmosphérique (c.-à-d. environ 760 Torr) et avec une grande variété de gaz et de mélanges gazeux.
Deeds W. Edward
Spence Paul D.
Smart & Biggar
The University Of Tennessee Research Corporation
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1916524