Stacked-type component and method for the manufacture of same

Details Stacked-type component and method for the manufacture of same Stacked-type component and method for the manufacture of same

H - Electricity

01

G

H01G 4/30 (2006.01) C23C 16/04 (2006.01) C23C 16/452 (2006.01) C23C 16/54 (2006.01) H01C 13/00 (2006.01)

Patent

CA 2177986

Method for the manufacture of a stacked-type capacitor and/or resistance consisting of alternating dielectric layers and conducting layers. The dielectric layers are deposited by polymerization of the elements derived from the dissociation. by remove nitrogen plasma, of an organo-siliceous or organo-germanium gas. The conducting layers are formed simultaneously by the deposition of a conducting polymer derived from the dissociation by remote nitrogen plasma, of hydrogen sulphide or sulphur dichloride. The dielectric and conducting layers are deposited on a dielectric substrate placed on the surface of a rotating drum, the rotation being such that the same portion of dielectric substrate is successively opposite at least one dielectric deposition device and at least one conducting polymer deposition device. each dielectric or conducting deposition being preceded by masking of the areas where no layer is to be deposited.

L'invention concerne la fabrication de condensateur et/ou de résistance de type empilé(e) constitué(e) d'une alternance de couches diélectriques et de couches conductrices. Les couches diélectriques sont déposées par polymérisation d'éléments issus de la dissociation par plasma différé d'azote d'un gaz organo-silicé ou organo-germané et les couches conductrices sont réalisées simultanément par dépôt de polymère conducteur issu de la dissociation par plasma différé d'azote d'hydrogène sulfureux ou de dichlorure de soufre. Les dépôts diélectriques et conducteurs sont effectués sur un substrat diélectrique placé à la surface d'un tambour en rotation, la rotation s'effectuant de façon qu'une même portion du substrat diélectrique se trouve successivement en regard d'au moins un dispositif de dépôt de diélectrique et d'au moins un dispositif de dépôt de polymère conducteur, chaque dépôt de diélectrique ou de conducteur étant précédé d'un masquage des zones où ledit dépôt n'est pas autorisé.

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