Thin film actuated mirror array

Details Thin film actuated mirror array Thin film actuated mirror array

G - Physics

02

B

G02B 26/08 (2006.01) B81B 3/00 (2006.01) G02B 26/10 (2006.01) G02B 27/18 (2006.01)

Patent

CA 2183990

A thin film actuated mirror for an actuated mirror array (10) includes a pedestal (14) and at least one piezoelectric structure (12) cantilevered from the pedestal. The piezoelectric structure includes a layer of piezoelectric material (18) having two opposing surfaces (24, 26). Each of two metal electrodes (20, 22) are mounted on a respective one of the opposing surfaces of the piezoelectric material layer. An electrical signal is applied across the piezoelectric material, between the electrodes, causing deformation of the piezoelectric material. The thin film actuated mirror further includes a mirror surface (32) interconnected to the piezoelectric material layer such that the mirror surface deforms in response to the deformation of the piezoelectric material layer.

Un miroir commandé par couche mince, destiné à un réseau (10) de miroirs commandés, comporte un socle (14) et au moins une structure (12) piézoélectrique soutenue en porte-à-faux par le socle. Cette structure comprend une couche d'un matériau (18) piézoélectrique qui présente deux surfaces (24, 26) opposées. Deux électrodes métalliques (20, 22) sont chacune montées sur une de ces surfaces. Un signal électrique, appliqué entre ces électrodes au travers du matériau piézoélectrique, entraîne la déformation de ce dernier. Ce miroir commandé par couche mince comprend en outre une surface réfléchissante (32) reliée à la couche de matériau piézoélectrique, cette surface se déformant en suivant la déformation de cette couche.

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