G - Physics – 01 – N
Patent
G - Physics
01
N
G01N 27/407 (2006.01)
Patent
CA 2141561
2141561 9428403 PCTABS00034 An integrated monolithic gas sensor comprises a substrate and thin films deposited on this substrate. The thin films include a thin film electrically conductive heating element, a thin film conductive reference electrode, and a second thin film conductive electrode, these electrodes and heating element being electrically isolated from each other. A thin film ionic conductor and a thin film reactive gas sensitive layer are placed between the reference electrode and the second conductive electrode to form an electrolytic cell in which an electrolytic reaction including as reagent the gas to be detected produces between the two conductive electrodes an electromotive force indicative of the concentration of the gas. Also deposited is a micro-thermometer formed of a thin film wire having a temperature-dependent resistance. When the gas to be detected is CO2, the ionic conductor may comprise NASICON of formula Na3Zr2Si2PO12, and the reactive gas sensitive layer may comprise Na2CO3.
Détecteur de gaz monolithique intégré comportant un substrat revêtu de couches minces dont un élément chauffant électroconducteur, une électrode de référence et une seconde électrode, isolés les uns des autres. Une couche mince d'un conducteur ionique et une couche mince sensible au gaz à détecter sont placées entre l'électrode de référence et la seconde électrode de façon à former une cellule électrolytique où une réaction électrolytique ayant pour réactif le gaz à détecter produit entre les deux électrodes suscitées une force électromotrice indicatrice de la concentration du gaz. Si le gaz à détecter est du CO2, le conducteur ionique peut comporter du NASICON de formule Na3ZR2Si2PO12 et la couche sensible au gaz, du Na2CO3. L'invention porte également sur un microthermomètre constitué par un conducteur à couche mince dont la résistance varie en fonction de la température.
Currie John F.
Lecours Andre
Capteurs Capco R. & D. Inc. (les)
Goudreau Gage Dubuc
LandOfFree
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