H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 21/77 (2006.01) C23C 18/12 (2006.01) C23C 18/14 (2006.01) H01L 21/316 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) H01L 21/314 (2006.01)
Patent
CA 2214563
A precursor solution (P22) formed of a liquid polyoxyalkylated metal complex in a solvent is applied to a substrate in the formation of a metal oxide thin film (P26). The liquid thin film is baked (P28) in air to a temperature up to 500 ~C while UV radiation having a wavelength ranging from 180 nm to 300 nm is applied. The thin film can be twice-baked at increasing temperatures while UV radiation is applied at one or both bakings. The film is then annealed (P32) at temperature ranging from about 700 ~C to 850 ~C to produce a thin-film solid metal oxide product. Alternatively, the UV radiation may be applied to the liquid precursor, the thin film may be annealed with UV radiation, or combinations of such applications of UV radiation to the precursor, to the thin film before or after baking, and/or UV annealing may be used.
La solution précurseur (P22) selon l'invention, composée d'un complexe métallique polyoxyalkylé liquide dans un solvant, est appliquée à un substrat pour former une couche mince d'oxyde métallique (P26). Cette couche mince liquide est cuite (P28) à l'air à une température pouvant atteindre 500 ·C, tandis qu'un rayonnement ultraviolet ayant une longueur d'onde comprise entre 180 nm et 300 nm est appliquée. La couche mince peut être cuite deux fois à des températures croissantes et le rayonnement ultraviolet appliqué à une ou aux deux cuissons. Cette couche est ensuite soumise à un recuit (P32) à une température comprise entre 700 ·C et 850 ·C de sorte qu'un produit d'oxyde métallique solide à couche mince soit obtenu. Selon une variante, le rayonnement ultraviolet est appliqué au précurseur liquide et la couche mince est recuite par rayonnement ultraviolet; il est possible de recourir à diverses combinaisons impliquant de telles applications du rayonnement ultraviolet au précurseur, à la couche mince avant et après la cuisson, et/ou le recuit par rayonnement ultraviolet.
Azuma Masamichi
Mcmillan Larry D.
Paz de Araujo Carlos A.
Scott Michael C.
Matsushita Electric Industrial Co. Ltd.
Matsushita Electronics Corporation
Smart & Biggar
Symetrix Corporation
LandOfFree
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