H - Electricity – 01 – S
Patent
H - Electricity
01
S
H01S 5/10 (2006.01) H01S 5/183 (2006.01) H01S 5/00 (2006.01) H01S 5/02 (2006.01) H01S 5/028 (2006.01)
Patent
CA 2350463
A vertical cavity surface emitting laser, VCSEL, (2) with variable tuning layer (10) for adjusting the slope of the laser (2) and method for manufacturing the same are disclosed. In practice, a VCSEL wafer is grown by any conventional technique, and fabricated into discrete lasers (2) while maintained in wafer form. The initial lasers (2) are then tested to determine characteristics, such as the slope efficiency distribution to within a target specification by altering the phase of the top facet reflectivity of the initial lasers (2). The resulting change in transmission directly changes the laser slope in a predictable fashion. The tuning step may be repeated, if necessary, to further refine. the slope to the desired value. The method produces VCSELs (2) with similar or consistent slopes from a plurality of wafers. Also disclosed are an optical subassembly (110) and optical transceiver (130) incorporating the improved VCSELs.
La présente invention concerne, d'une part un laser à cavité verticale et à émission par la surface ou VCSEL (2) pourvu d'une couche d'accord variable (10) permettant d'adapter la pente du laser (2), et d'autre part le procédé de fabrication correspondant. Dans la pratique, on réalise une croissance de plaquette VCSEL selon les procédés conventionnels, plaquette à partir de laquelle on fabrique des lasers discrets (2) tout en conservant la forme de la plaquette. On teste les lasers initiaux (2) pour en connaître les caractéristiques et notamment la distribution des efficacités de pente. On dépose ensuite une couche diélectrique d'épaisseur variable qui est calculée pour faire l'accord de la distribution des efficacités de pente dans les limites d'une spécification de cible, et ce, par modification de la phase de la réflectivité de la facette supérieure des lasers initiaux (2). La modification résultante affectant l'émission modifie directement la pente des lasers initiaux de façon prévisible. L'opération d'accord peut se répéter, en cas de besoin, de façon à affiner la pente pour aboutir à la valeur souhaitée. Ce procédé permet la production de VCSEL (2) de pentes semblables ou cohérentes en partant d'une pluralité de microplaquettes. L'invention concerne également un sous-ensemble optique (110) et un transcepteur optique (130) incorporant ce modèle de VCSEL.
Cielo Communications Inc.
Fetherstonhaugh & Co.
Optical Communication Products Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1421824